表面技术词汇表

等离子体密度

 离子 相比于未电离的 原子 或者 分子 在 等离子体中所占的比例。在等离子体中绝对不会发生所有原子或分子都被电离的情况,因为在电离的同时还会连续重组 电子 和离子。
激发功率越高,气体密度越低,则 等离子体密度就越高。

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