阳极键合

在半导体、传感器和 微系统技术 领域使用的连接方法，用于不可分割的连接两块紧密接触的非常光滑的板材。其中一块板材必须采用半导体材料（通常为 硅）制成。另一块板材既可以是半导体，也可以是玻璃板。