硼硅玻璃

硼硅玻璃含大约 80% 的 SiO2(“硅酸盐”)和大约 10% 的 B2O3(“三氧化二硼”),此外还含有大约 10% 的其他矿物质 (Al2O3、K2O、CaO、MgO)。硼硅酸盐具有极佳的化学耐受性和高温耐受性。硼硅酸盐用于 接收器 和窗口,这些部件均位于 等离子体腔室 中,并且必须具有耐腐蚀性。

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