硼硅玻璃

硼硅玻璃含大约 80% 的 SiO₂（“硅酸盐”）和大约 10% 的 B₂O₃（“三氧化二硼”），此外还含有大约 10% 的其他矿物质 (Al₂O₃、K₂O、CaO、MgO)。硼硅酸盐具有极佳的化学耐受性和高温耐受性。硼硅酸盐用于 接收器 和窗口，这些部件均位于 等离子体腔室 中，并且必须具有耐腐蚀性。