干燥
英语为“dry”。
结合 等离子体技术 ，该术语是指干燥进行表面处理，否则需要使用湿化学法（酸、碱、溶液、溶剂）。Dryasher（干式灰化机）、drycleaner（干式清洗机）、dryetcher（干式蚀刻机）以及干式炉，这些都是通过等离子体技术对材料进行干式改性的设备名称。干燥工艺具有以下优点：不必使用湿化学法对所有有害健康和环境的化学物质进行储存、处理和废弃处理，这样在处理之后便不需要对化学物质进行清除和干燥了。虽然干化学方法的处理速度，特别是蚀刻速率，通常比湿化学方法低很多，但是另一方面，其能够实现非常精细的调节，从而可以按原子层的数量级进行一些调整。
