干燥

英语为“dry”。
结合 等离子体技术 ,该术语是指干燥进行表面处理,否则需要使用湿化学法(酸、碱、溶液、溶剂)。Dryasher(干式灰化机)、drycleaner(干式清洗机)、dryetcher(干式蚀刻机)以及干式炉,这些都是通过等离子体技术对材料进行干式改性的设备名称。干燥工艺具有以下优点:不必使用湿化学法对所有有害健康和环境的化学物质进行储存、处理和废弃处理,这样在处理之后便不需要对化学物质进行清除和干燥了。虽然干化学方法的处理速度,特别是蚀刻速率,通常比湿化学方法低很多,但是另一方面,其能够实现非常精细的调节,从而可以按原子层的数量级进行一些调整。

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