低压等离子体技术

低压等离子设备由以下基本部件组成：

• 接收器 
  配有电子 控制系统、 法兰 用于 气体供给、 阀、 压力传感器 ，必要时还包括其他测量传感器
• 高频发生器
• 真空泵
  ，必要时还包括预真空泵和高真空泵、过滤器

接收器是一种气密性压力容器。为了避免接收器的元件因 等离子体 的作用而发生蚀刻，接收器的材质为 不锈钢 或高纯度 石英玻璃。这同样适用于接收器中的元件： 电极、产品支架、传感器。此外，接收器的组成部分还包括电子设备控制系统和所有气体接口和排气口。

为了进行等离子体激发，提供了低频范围 (40 kHz)、射频范围 (13.56 MHz) 和微波范围 (2.45 MHz) 的高频发生器。

泵单元可包含预真空泵和高真空泵、过滤器、软管和测量传感器。