石英玻璃舟皿

也称为“石英玻璃小方舟”。一种产品支架,其用于接收一整堆 硅晶片 用于 等离子处理低压等离子体中,特别是通过 等离子蚀刻。其由高纯度 石英玻璃制成,因为石英玻璃几乎不会因蚀刻工艺流程而受到腐蚀。详细信息请参见 ⇒ 配件

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