石英玻璃舟皿

也称为“石英玻璃小方舟”。一种产品支架，其用于接收一整堆 硅晶片 用于 等离子处理 于 低压等离子体中，特别是通过 等离子蚀刻。其由高纯度 石英玻璃制成，因为石英玻璃几乎不会因蚀刻工艺流程而受到腐蚀。详细信息请参见 ⇒ 配件