氧化铝

₂O₃，是一种坚硬的氧化物，其以不同变体出现，其中刚玉的硬度最高。铝表面与大气中的氧气接触之后，在铝表面上会自发形成一层薄的透明 Al₂O₃ 层，其能够防止铝进一步氧化。通过阳极氧化，可以人为加强这层氧化层，从而增强其保护效果。Al₂O₃-表面可以在等离子体中通过氩轰击或者含卤素的气体进行蚀刻。