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金属(特别是钢)的表面硬化方法。采用这种方法时,待处理工件将被用作 阴极 ,并在高温环境下暴露在氮气/氢气等离子体 中。借此,首先去除表面氧化物和其他污染物,然后在金属网格的近表面区域中渗入氮离子 ,从而提高表面硬度。此外,在很多情况下滑动性能和耐腐蚀性能也能获得改善。除了钢以外,还可以对钛和铝进行等离子渗氮。还将其称为辉光渗氮。
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