微系统技术

一种用于制造微系统的技术,以微观尺度设计的机械或光学组件,这些组件通常组合成单元,尤其是与微电子系统。示例:微型传感器、微型加热器。微系统技术的结构通常是通过微电子学的工作方法创建的,例如:安装诸如导体电路之类加热线圈,或者是采用半导体结构化方法蚀刻机械组件(参见 LIGA)。此 等离子体技术 在微系统技术领域中的应用非常广泛: 清洗 表面,在进行 涂覆溅射、蒸镀、 键合蚀刻光刻胶、金属轨道、在 半导体 中对成品结构的保护涂层(疏水性、抗氧化性)进行深度蚀刻之前。

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