微系统技术

一种用于制造微系统的技术，以微观尺度设计的机械或光学组件，这些组件通常组合成单元，尤其是与微电子系统。示例：微型传感器、微型加热器。微系统技术的结构通常是通过微电子学的工作方法创建的，例如：安装诸如导体电路之类加热线圈，或者是采用半导体结构化方法蚀刻机械组件（参见 LIGA）。此 等离子体技术 在微系统技术领域中的应用非常广泛： 清洗 表面，在进行 涂覆、 溅射、蒸镀、 键合、 蚀刻 掉 光刻胶、金属轨道、在 半导体 中对成品结构的保护涂层（疏水性、抗氧化性）进行深度蚀刻之前。