表面技术词汇表

俄歇效应

双电子工艺,通过这种工艺可以将弱束缚 电子 转换为低能量的未占用状态。期间所释放的能量会转移至同一个 原子 的另一个弱束缚电子上,由此使该电子从原子中被发射出来(俄歇电子)。俄歇电子能谱 (AES) 基于俄歇效应,是一种近表面原子及其结合态(特别是诸如碳、氮和硼之类“轻”元素的结合态)的表征方法。

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