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使用 等离子工艺流程 来清洗粗污染物并不是特别合适,因为等离子清洗方法的去除速度不是非常高。进行粗清洗时,首选机械式和湿式清洗方法。这种 等离子清洗 的主要优点在于,即使是位于极隐蔽位置处的最细微的污染物也能够很好的去除,如同清洗露出的表面一样。在 氧气等离子体 中进行清洗还可以将最小的碳氢化合物(油、油脂、蜡、脱模剂)残留物去除,并在 过蚀刻 时发挥作用,必要时对最上层原子层进行轻微蚀刻,从而有助于提高 印刷、 涂漆 和粘合的粘附强度。其同样适用于微机械式超精细清洗通过 微喷砂。
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