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低壓等離子體等离子系统 Tetra 150

为您的生产流程提供最大的灵活性

Tetra 150 低压等离子系统将 150 - 150 升的宽敞腔体容积与灵活的系统设计相结合。 由于可选择窄型纵向或宽型横向两种结构,该设备能够根据现有空间条件和不同的部件几何形状进行最佳调整。

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灵活的设备设计,适用于各种工件几何形状

150 - 150 升的腔室容积使 Tetra 150 能够为中型至大型工件提供充足空间,并支持在单次工艺中处理多个部件。 

其一大特色在于提供两种机箱款式可供选择。竖式机型特别适合占地面积有限的情况,而横式机型则在处理宽大或扁平工件时更具优势。因此,该设备可最佳地适应不同的生产环境和物料流。

根据工艺要求,可提供多种 PC 控制系统和配置选项。工艺参数可进行精确调整和记录,从而确保结果的可重复性及高度的工艺可靠性。

Tetra 150 支持低压等离子体技术工艺,可对各类材料进行超精细清洗、表面活化、等离子蚀刻及功能性涂层处理。

清潔

低壓等離子體 系統 Tetra 150 提供適用於所有表面、各種基材及後處理工序的精密清潔解決方案。等離子清潔技術能徹底清除所有有機殘留物,且不會對元件造成化學或熱應力。

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活化

在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中,要使結合夥伴產生作用,表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體 設備 Tetra 150 所進行的等離子活化處理,能形成極性結合夥伴並提高表面能。

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鍍膜

低壓等離子體 設備 Tetra 150 亦可透過鍍膜來改性表面。在等離子鍍膜過程中,可沉積各類疏水、親水、保護或絕緣層。

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蝕刻

低壓等離子體 設備 Tetra 150 所採用的等離子體技術,可進行各向異性與各向同性蝕刻。藉此可在表面形成奈米結構,以增大表面積並提升附著力。

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150 - 150升 腔室

低壓等離子體 系列 Tetra 150 设备配备了容积为 150 - 150 升的腔室,特别适合处理工业领域的大型部件。该设备提供不锈钢或铝制腔室,可确保工业生产过程的安全性和稳定性。 宽敞的腔室尺寸可同时处理复杂或多个部件,因此 Tetra 150 非常适合工业生产过程和批量应用。 

电极

随着技术的进步,需求也在不断提高。选择Diener electronic,企业将受益于极高的投资安全性,因为Tetra 150设备能够随着未来需求的变化而持续升级。 凭借灵活的模块化系统,Tetra 150的结构设计可根据具体应用需求,选择单层或多层电极,甚至采用带抽屉系统的特殊旋转鼓式解决方案。 对于复杂且体积较大的部件,建议安装单层电极以确保处理均匀。对于将分置于多层的众多小型部件,则安装多层电极或旋转鼓式电极,以确保在各种应用场景下均能实现均匀处理。

模块化系统

凭借多年的经验和经过验证的设计方案,Diener electronic 开发了一套独特的模块化系统,可据此灵活设计设备。 为了便于与现有生产环境无缝集成,等离子设备Tetra 150可采用节省空间的竖式机箱或更宽敞的横式机箱进行组装。将根据腔室尺寸选择合适的机箱及控制元件。 最终,我们为具有高要求应用场景的工业领域提供了一套量身定制的生产设备。

控制

对于工业应用而言,配备预设工艺流程的简易型Low Cost或基础PC控制系统是最佳选择。对于要求较高的生产环境,可选择全功能PC控制系统。该系统支持工艺流程存档、报警列表、远程诊断及网络连接。 工艺的透明度及其可追溯性为高效且经济的生产奠定了基础。

技术数据

外壳尺寸

立式

宽度
600-870 mm
高度
1910 mm
深度
800-1000 mm

控制装置

Low Cost PC (Windows CE)

Basic PC (Windows CE)

Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)

真空室

不锈钢, 铰链门
宽 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm; 卷 约 150 升

铝, 铰链门
宽 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm; 卷 约 150 升
可选: 深度可灵活扩展,最大可达3000毫米

铝, 铰链门
宽 600 mm x 高 400 mm x 深 625 mm; 卷 约 150 升
可选: 深度可灵活扩展,最大可达3000毫米

发电机

80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W

80.00 千赫 | 功率输出 0 - 3000 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 600 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 1000 W

2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 850 W

供气

MFC (Mass flow controller)

电极

单层电极

多层电极

RIE 电极

压力测量

皮拉尼传感器

容积式压力表

电源

400 V | 16 - 125 A

保留技术变更权利。

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表面处理服务

FAQ 常见问题

低压等离子体还是大气压等离子体,哪种方案更优?

对于Diener electronic的表面处理,不存在“好与坏”之分,而是“适合或不适合该应用”。

请参阅我们的优缺点对照表

能透过观察窗看到里面吗?

是的,根据材料的不同,可以观察真空室内部的情况。

使用Tetra 150系统进行涂覆时,每次能涂覆多少?

借助Diener electronic公司的Tetra 150系统,可实现低至微米级(< 1微米)的涂层沉积。

Tetra 150中可以使用哪些气体?

在Tetra 150中以及一般低压等离子体中,可使用以下气体:O₂、N₂、Ar、室内空气、CO₂、H₂O蒸汽和甲烷气 

Tetra 150能否处理对温度敏感的部件?

是的,由于这是冷等离子体,因此Diener electronic的低压等离子体设备Tetra 150适用于对温度敏感的元器件。

Tetra 150这款GHz设备的工作频率是多少?

GHz系统Tetra 150的发电机使用2.45 MHz的ISM频段——其辐射强度与微波炉相当。请咨询有关心脏起搏器佩戴者的安全规定。 

运行过程中可以打开腔室门吗?

在正常情况下不会,因为真空产生的负压会将门吸附在腔体外壳上。

贵公司在大气压和低压环境下用于等离子体表面处理的设备、装置和系统,与其他市场竞争对手相比有何不同?

Diener electronic的等离子表面处理设备和系统与市场上的同类产品相比,具有以下区别: 

  • 凭借技术可靠性,我们在客户的各种生产环境中积累了超过20年的AD经验和30年的ND经验
  • 已安装的设备数量达数千套
  • 结构紧凑
  • PC型号支持现代通信协议,如Profinet、EtherCat等

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我们很乐意为您提供帮助。您可以轻松使用我们的联系表单;或者直接通过电子邮件或电话与我们联系。

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