型号 4
型号 4，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体）
基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统
（宽 600 mm x 深 800 mm x 高 2,100 mm）
真空腔室，矩形，不锈钢，带铰链的门，
（宽：400 mm，深：625 mm，高：600 mm）
气体供给：
MFC
型号 5
型号 5，等离子体聚合设备
基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统
（宽 600 mm x 深 800 mm x 高 2,100 mm）
真空腔室，矩形，不锈钢，带铰链的门
（宽：400 mm，深：625 mm，高：600 mm）
气体供给：
针型阀
型号 6
型号 6，等离子体聚合设备
基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统
（宽 600 mm x 深 800 mm x 高 2,100 mm）
真空腔室，矩形，不锈钢，带铰链的门
（宽：400 mm，深：625 mm，高：600 mm）
气体供给：
针型阀
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