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Tetra 100 等离子系统主要应用于以下领域:
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型号 1,标准设备 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统真空腔室,矩形,不锈钢,带铰链的门, (宽:400 mm,深:625 mm,高:400 mm)气体供给: MFC
型号 2,标准设备 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统真空腔室,矩形,铝,带铰链的门, (宽:400 mm,深:625 mm,高:400 mm)气体供给: MFC
型号 3,标准设备 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 (宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)真空腔室,矩形,铝,带铰链的门 (宽 400 mm,深:625 mm,高:400 mm)气体供给: MFC
型号 4,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体) 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)真空腔室,矩形,不锈钢,带铰链的门, (宽:400 mm,深:625 mm,高:400 mm)气体供给: 针型阀
型号 5,等离子体聚合设备 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 (宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)真空腔室,矩形,不锈钢,带铰链的门 (宽:400 mm,深:625 mm,高:400 mm)气体供给: MFC
型号 6,等离子体聚合设备 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)真空腔室,矩形,不锈钢,带铰链的门 (宽:400 mm,深:625 mm,高:400 mm)气体供给: MFC
等离子体技术可为所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案。此外,还能分解由分子构成的残留污染物。
更多信息
表面具有良好的润湿性,是确保在 涂漆、粘接、印刷 或者 键合 时与结合配偶体 粘附 的前提条件。
等离子体技术可用于各向异性和各向同性蚀刻。通过化学蚀刻进行各向同性蚀刻,通过物理蚀刻进行各向异性蚀刻。
使用低压等离子体,可以改良具有不同涂层的工件。为此,会将气态和液态原材料输送到真空腔室中。
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频率:
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。
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