低壓等離子體等离子系统 Tetra 100
工业应用中的处理量更大
Tetra 100等离子系统专为希望利用低压等离子体对较大工件进行高效且可重复处理的企业而设计。该设备的工作腔容积为100 - 100升，为工业领域以及研发部门的高要求应用提供了充足的空间。
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100升空间，可容纳较大工件
凭借100 - 100升的宽敞腔体容积，Tetra 100非常适合处理大型零部件或在单个工艺过程中处理多个工件。这有助于提高产量和经济效益，同时不会影响工艺质量。
模块化设备设计可根据您的具体需求进行个性化配置。控制系统、工艺参数和设备配置均可针对材料、工件几何形状及生产流程进行最优调整。
Tetra 100 支持低压等离子体技术的多种工艺——从超精细清洗、表面活化到等离子蚀刻和功能性涂层。 可重复的工艺流程和高度的工艺稳定性，为后续的粘接、喷漆或涂层等生产步骤创造了最佳条件。
凭借其坚固的结构和灵活的可配置性，该设备既适用于科研应用，也适用于工业生产环境中的连续运行。
活化
在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中，要使結合夥伴產生作用，表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體 設備 Tetra 100 所進行的等離子活化處理，能形成極性結合夥伴並提高表面能。
更多信息
100 - 100升 腔室
低壓等離子體 Tetra 100 设备配备了容积为 100 - 100 升的腔室，非常适合处理工业领域的大型部件。该设备提供不锈钢或铝制腔室，可确保工业工艺的特别安全与稳定。 针对特定应用，还提供硼硅酸盐玻璃腔体以及抽屉式门。宽敞的腔体尺寸可同时处理复杂或多个工件，这使得 Tetra 100 等离子设备非常适合工业生产流程和批量应用。
电极
选择Diener electronic，企业将受益于极高的投资安全性，因为Tetra 100设备能够随着未来需求的发展而不断升级。凭借灵活的模块化系统，可根据Tetra 100等离子设备的具体应用场景，选择单层或多层电极。 对于在处理腔内占据较大空间的复杂大型部件，建议选用能确保均匀处理的电极。 为了确保在各种应用场景下都能实现均匀处理，对于分布在多个层上的众多小型部件，通常会安装多层电极或旋转鼓式电极。
控制
对于工业应用而言，配备预设工艺流程的简易型Low Cost或基础版PC控制系统是最佳选择。 等离子设备 Tetra 100 可配备全PC控制系统，以满足工业领域中要求较高的应用需求。该系统支持远程诊断、网络连接以及工艺流程和报警列表的归档。工艺流程的透明度及其可追溯性，为高效且经济的生产奠定了基础。
技术数据
外壳尺寸
立式
控制装置
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
真空室
不锈钢, 铰链门
宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm; 卷 约 100 升
铝, 铰链门
宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm; 卷 约 100 升
可选: 深度可灵活扩展，最大可达3000毫米
发电机
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 3000 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 600 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 1000 W
2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 850 W
供气
MFC (Mass flow controller)
电极
单层电极
多层电极
RIE 电极
压力测量
皮拉尼传感器
容积式压力表
电源
400 V | 16 - 125 A
保留技术变更权利。
FAQ 常见问题
使用等离子设备Tetra 100可以活化哪些表面？
使用Diener electronic公司的等离子设备Tetra 100，可对塑料、金属、玻璃、陶瓷和纺织品等表面进行活化处理。
哪些塑料可以进行蚀刻？
这些工艺主要用于对塑料表面进行蚀刻。对于POM、PPS和PTFE等难以涂装和粘接的塑料而言，蚀刻非常重要。通过增大表面积，可以获得更好的粘接力。典型的蚀刻气体包括氧气、氟气，以及氢气。
蚀刻效果能持续多久？
在对表面进行蚀刻时，材料会被去除，从而使蚀刻效果永久保留。
使用Tetra 100系统进行涂覆时，每次能涂覆多少？
借助Diener electronic公司的Tetra 100系统，可实现低至微米级（< 1微米）的涂层沉积。
纺织品可以进行涂层处理吗？
Diener electronic 生产的采用低压工艺的卷对卷专用设备可用于对纺织品进行涂层处理。然而，其处理时间不适合短周期生产。纺织品涂层通常既不可水洗，也不耐磨。
Tetra 100中可以使用哪些气体？
在Tetra 100中以及一般低压等离子体中，可使用以下气体：O₂、N₂、Ar、室内空气、CO₂、H₂O蒸汽和甲烷气
Tetra 100是否需要排气过滤器？
是的，无论使用何种燃气，所有设备都必须连接到有效的排气系统。 这些设备会产生氮氧化物、废气、细微的油雾（对于燃油泵而言）等，这些物质绝不能吸入；此外，这些气体通常呈酸性，因此会加速周围部件、机器和设备的锈蚀。
Tetra 100在真空室中的典型工艺温度是多少？
Diener electronic 的 Tetra 100 通常在室温至约 80 °C 范围内运行——具体温度取决于组件、腔室类型、工艺时间和装载量。如需更高温度，可向 Diener electronic 提出申请，通过加热元件实现。
Tetra 100的真空室中，通常具有什么样的典型压力范围？
该Tetra 100的典型压力范围为可调的0.1至1.0毫巴，具体取决于所设定的低压等离子体工艺。
Tetra 100这款GHz设备的工作频率是多少？
GHz系统Tetra 100的发电机使用2.45 MHz的ISM频段——其辐射强度与微波炉相当。请咨询有关心脏起搏器佩戴者的安全规定。
Tetra 100系统在软件控制方面支持哪些连接方式？
通过全PC控制，Diener electronic的Tetra 100等离子系统具有以下连接选项：
- 上级控制系统，例如通过 Profinet 连接
- MES系统，例如通过OPC UA
- 通过 ODBC 连接数据库
能否通过等离子聚合对塑料进行涂层处理？
通过等离子聚合工艺，对塑料进行涂层处理通常非常简单。关于是否能满足特定要求，Diener electronic 的工艺开发部门很乐意为您提供咨询。
例如，CD和DVD可以涂覆抗划伤涂层，且不会影响其质量。
还可以涂覆类似PTFE的涂层，以提高待处理物品的滑动性能。此外，还可以在塑料表面有针对性地引入官能团（例如用于生物分析应用的氨基）。
是否可以提出其他具体的软件需求？
我们Diener electronic公司专门根据您的需求，为您定制全PC控制软件——可应要求提供。
