法拉第
迈克尔·法拉第 (Michael Faraday) 出生于1791年，是一位英国自然学家，从事基础电气工程研究。他对例如电解进行了详细的试验。以他的名字对充电容量的物理单位进行了命名 [F] = [Farad]。以此单位说明电容器的电容。还用法拉第命名了法拉第笼。
法拉第笼是一种金属外壳。法拉第笼内部的电磁场不会向外渗透，反之亦然。因此，其可用于电磁屏蔽。对于某些 等离子工艺流程 ，需要一种零电势的 等离子体 ，或者要避免 离子 和 电子 的影响，例如：当需要避免基材起电的时候。这种情况下，基材位于法拉第盒中，其中激发的 原子 和 自由基 有效，但是离子无效。
