表面技术词汇表

等离子体激发

如果 原子气体 )受到强烈激发, 电子 从原子键中被分裂出来,并由此产生 离子,这便会形成一个 等离子体。 这种激发可通过以下方式来实现:

通过极端温度实现激发

恒星中的等离子体激发过程。宇宙中 99% 的物质都是由等离子体组成的。

高频激发

同样可通过高频电场激发 等离子体 。激发频率越高,气压越低,就越容易以较低的能量激发等离子体。在 低压等离子体技术中,等离子体是通过电磁高频场激发的。特别是:
  1. 在抽真空的等离子体腔室(接收器)中,可在几乎所有气态物质环境下激发等离子体
  2. 通过高频激发的等离子体的温度很低

等离子体技术 中,可通过已获得批准的 ISM 频率 40 kHz、 13.56 MHz 或 2.45 GHz 进行这种激发。

气体放电

在强电场中,在高压下会发生气体放电。通过气体放电激发的等离子体主要存在于:

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