电极

电极是一种带电的导电部件。在电极和其他电荷的电导体（通常是另一个电极）之间会形成电场。 通过这种电场，还可以激发技术型 等离子体 ，在此必须与高压电极区分开来：

• 高压电极会产生较高的局部场强，从而可以通过 气体放电 产生等离子体，就如同产生 电晕 或者 常压等离子体。
• 高频电极用于通过高频交变场激发等离子体。如果激发频率介于 千赫兹 和 吉赫兹范围 之间，则可在场强较低的情况下在真空中产生等离子体。借此，还可以大批量产生均匀的等离子体。