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也称扫描力显微镜 (Scanning Force Microscope (SFM))德语:“原子力显微镜 (Rasterkraftmikroskopie)”。在 1986 年由 Gerd Binnig 等人研发的显微技术,通过这项技术,在理想情况下可以分辨最小 0.1 nm 的结构,这意味着能够分辨原子结构及分子结构。此测量原理的基础是,对从表面上方导入的纳米微针的运动进行测量。
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