去除

去除表面材料，特别是通过 等离子蚀刻工艺。通过不同的工艺流程如 化学蚀刻、 离子蚀刻、 反应性离子蚀刻 或者 微喷砂去除表面的 分子 或者分子层。表面涂层的去除速度也被称为去除率。