等离子监控

为了对等离子工艺流程进行精确的控制,必须对当前工艺流程中 等离子体 的状态进行监控。提供了两种基本方法:

  1. 光谱监控:
    低压等离子体 以对应 工艺气体 的典型颜色亮起,也就是电磁辐射的波长。随着剩余气体比例的增加,颜色会自行发生变化。这意味着,进行光谱测量时会检测到额外的波长(光谱线)。辐射的强度会随低压等离子体的压力而发生变化。
    工艺流程中等离子体的光谱发生变化是正常的,因为反应产物会积聚在等离子体中。但是,必须检查这些变化是否保持在指定的公差范围内。
  2. 压力、气体流量、电压、时间和其他工艺参数的测量和检查。

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