为了对等离子工艺流程进行精确的控制，必须对当前工艺流程中 等离子体 的状态进行监控。提供了两种基本方法：
- 光谱监控：
低压等离子体 以对应 工艺气体 的典型颜色亮起，也就是电磁辐射的波长。随着剩余气体比例的增加，颜色会自行发生变化。这意味着，进行光谱测量时会检测到额外的波长（光谱线）。辐射的强度会随低压等离子体的压力而发生变化。
工艺流程中等离子体的光谱发生变化是正常的，因为反应产物会积聚在等离子体中。但是，必须检查这些变化是否保持在指定的公差范围内。 - 压力、气体流量、电压、时间和其他工艺参数的测量和检查。
