等离子体喷射法
常压等离子体 - PlasmaBeam
该设备由 三个 单元组成:
供给单元
电源接头
工艺气体和冷却气体接头
高电压发生器
电流测量模块
气体控制模块
配有操作元件的前面板
弹性管道中的供气和供电管线
等离子发生器
中心电极、外部电极和绝缘体形成了一个放电区
高电压发生器 将 电源电压 转换为 高电压 (最高可达 10 kV),这对于 形成 电子放电而言是 必须的 。
电源电压 和 工艺气体 将通过 弹性 管道被输送至 放电区 中。
空气气流 将 电弧 中所产生的活性粒子 (i+, e-, r*) 从 放电区 带出。(等离子体喷射法)
该活性气体 流 通过 专门 的成型喷嘴汇聚到待处理的 工件上。