硅是最重要的元素之一,但并不是由于或者从微电子行业发达之日起才变得重要的。硅占地球总重量的 15%,但在自然界中仅以化合物形式存在,特别是作为矿物化合物,并主要以 二氧化硅 SiO2 的形式存在。这种矿物是砂岩、砂和花岗岩的主要成分。纯 SiO2-矿物被称为石英。其可以以纯态形式作为 石英玻璃 进行加工处理。其通常是所有玻璃的主要成分。硅的原子序数是 14,并属于元素周期表中的碳族。凭借其 4 个 价电子 可以通过各种类似方法形成化合物和晶格如 。在元素形式上,硅是一种半金属或 半导体 ,并具有最重要的商业应用用途。在此,能够形成大型无干扰单晶,是特别重要的。许多硅加工方法都是通过 等离子体技术 来实现的,其中通过 蚀刻 进行结构化尤为重要。很多氟化合物可用作蚀刻气体,例如: 六氟化硫 SF6 或者 四氟甲烷 CF4 。此外,使用 光刻法 还可以通过 等离子体聚合 来涂覆导体电路或者保护涂层。

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