接收器

等离子体腔室或者接收器被称为腔室,其内部是处于低压状态的工艺气体。该腔室被设计为压力容器。其由不会被所使用的工艺气体腐蚀的材料制成,通常由不锈钢制成。对于某些工艺流程而言,必须使用高纯度石英玻璃材质的接收器。

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