等离子灰化机
通过 蚀刻 于氧气等离子体中进行，能够很好的分解碳氢化合物。这种效果在进行 等离子清洗 时用于去除聚合的表面污染物（例如：蜡、 硅酮、油和油脂）。
还可以将整个聚合的塑料层毫无残留的彻底去除。例如，针对用于分析的 复合材料 ，可以去除所有 聚合物 成分，并露出纯无机成分。这类工艺方法可在材料检验中用于对各个成分进行检查。这类工艺方法被称为“灰化”(灰化 (Ashing)）。但是，灰化的最重要应用用途是，毫无残留地彻底去除 光刻胶层 ，在微电子行业中采用 光刻 工艺方法后。一个 等离子灰化机 （等离子灰化装置）是一种 低压等离子设备，其专为灰化工艺方法而设计和配备。
