等离子灰化机

通过 蚀刻 于氧气等离子体中进行,能够很好的分解碳氢化合物。这种效果在进行 等离子清洗 时用于去除聚合的表面污染物(例如:蜡、 硅酮、油和油脂)。
还可以将整个聚合的塑料层毫无残留的彻底去除。例如,针对用于分析的 复合材料 ,可以去除所有 聚合物 成分,并露出纯无机成分。这类工艺方法可在材料检验中用于对各个成分进行检查。这类工艺方法被称为“灰化”(灰化 (Ashing))。但是,灰化的最重要应用用途是,毫无残留地彻底去除 光刻胶层 ,在微电子行业中采用 光刻 工艺方法后。一个 等离子灰化机 (等离子灰化装置)是一种 低压等离子设备,其专为灰化工艺方法而设计和配备。

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