型号 1,标准设备 基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统 真空腔室,矩形,铝,带铰链的门, (宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm) 气体供给: 针型阀
型号 2
型号 2,标准设备 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 真空腔室,矩形,铝,带铰链的门, (宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm) 气体供给: MFC
型号 3
型号 3,标准设备 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT) (宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm) 真空腔室,矩形,铝,带铰链的门, (宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm) 气体供给: MFC
型号 4
型号 4,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体) 基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统 (宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm) 真空腔室,矩形,铝,带铰链的门, (宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm) 气体供给: 针型阀
型号 5
型号 5,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体) 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 (宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm) 真空腔室,矩形,铝,带铰链的门 (宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm) 气体供给: MFC
型号 6
型号 6,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体) 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT) (宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm) 真空腔室,矩形,铝,带铰链的门, (宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm) 气体供给: MFC