低壓等離子體等离子系统 Tetra 45
用于对大型工件进行高效等离子表面处理的扁平真空室
该设备配备了独特的真空腔室，腔室容积为46升，为等离子清洗、表面活化、等离子蚀刻和等离子镀膜提供了最佳条件
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专为大尺寸工件优化
Tetra 45 的特点在于其扁平的真空腔，高度为 125 毫米，宽度为 572 毫米，深度为 650 毫米。 这种几何结构使得能够高效处理大面积工件、组件和基板，而这些在传统真空腔中往往只能进行有限的加工。
腔体由高品质的铝挤压型材制成，因此其长度可根据具体要求灵活调整。得益于其模块化设计，Tetra 45 可根据不同的工艺需求进行个性化调整，并灵活集成到工业生产流程中。 多种控制选项、工艺模块和配置方案，可提供量身定制的解决方案，以实现可重复且可记录的等离子工艺。
该设备适用于各种表面的清洁、活化、蚀刻和功能化处理，并可支持后续工艺，如粘合、喷漆、涂层或印刷。
活化
在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中，要使結合夥伴產生作用，表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體 設備 Tetra 45 所進行的等離子活化處理，能形成極性結合夥伴並提高表面能。
更多信息
46升 腔室
低壓等離子體 系列 Tetra 45 设备配备 46 升的腔室容积，特别适合处理工业领域的大型工件。等离子系统采用铝制腔室，可确保工业工艺过程的安全性和稳定性。 Tetra 45 采用狭长矩形结构，能够高效处理大尺寸且相对扁平的工件，并确保腔室容积得到最佳利用。坚固耐用的铝制腔室经过专门优化以满足工业需求，特别适用于批量生产中的可靠等离子工艺。
电极
随着技术的进步，需求也在不断提升。选择Diener electronic，企业将享受到极高的投资安全性，因为Tetra 45设备能够随着未来需求的发展而持续升级。 凭借灵活的模块化系统，可根据具体应用选择单层或多层电极。对于占用腔室内大量空间的复杂大型部件，建议安装单层电极以确保处理均匀。 为了确保等离子设备Tetra 45在各种应用场景下都能实现均匀处理，当多个小部件分层放置时，应安装双层电极。
工业4.0
为满足“工业4.0”日益增长的需求，Diener electronic 为 Tetra 45 等离子设备提供了可选配的自动门。由此，Tetra 45 等离子系统可快速集成到制造执行系统（MES）中，并最佳地融入自动化生产线。 自动装卸功能减少了人工干预，从而提高了工艺可靠性，并确保了工艺的可重复性。通过自动化，等离子设备 Tetra 45 可确保高效的质量控制。
控制
对于 Tetra 45 在工业领域的应用，配备预设工艺流程的简易Low Cost或基础型 PC 控制系统是最佳选择。 对于要求较高的生产环境，可选择全功能PC控制系统。该系统可实现工艺存档、报警列表、远程诊断和网络连接。高效且经济的生产基于工艺的透明度和可追溯性。
技术数据
外壳尺寸
立式
控制装置
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
真空室
铝,
宽 572 mm x 高 125 mm x 深 650 mm; 卷 约 46 升
发电机
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 3000 W
100.00 千赫 | 功率输出 0 - 500 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W
2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 850 W
供气
MFC (Mass flow controller)
电极
单层电极
多层电极
RIE 电极
压力测量
皮拉尼传感器
容积式压力表
电源
400 V | 16 - 125 A
保留技术变更权利。
FAQ 常见问题
Tetra 45 有哪些突出优势？
Diener electronic 公司的 Tetra 45 机型以其体积小、结构扁平的真空腔为特点。该设备抽真空速度快，可节省时间和成本。因此，它效率极高，非常适合处理扁平的元器件。
对静电敏感的元件可以使用Tetra 45进行处理吗？
是的，使用Tetra 45的低压等离子体可以实现这一点。如有需要，我们的工艺部门可为您进行测试。
Tetra 45等离子系统适合连续运行吗？
所有工业用标准和特殊系统，例如Diener electronic的Tetra 45，均设计用于连续运行，并由服务技术人员定期进行功能维护。
使用等离子设备Tetra 45可以活化哪些表面？
使用Diener electronic公司的等离子设备Tetra 45，可对塑料、金属、玻璃、陶瓷和纺织品等表面进行活化处理。
在Tetra 45系统中，除了氢之外还有其他替代方案吗？
如向Diener electronic咨询，该Tetra 45系统可考虑采用氢气发生器，或将水蒸气作为氢气的替代方案。
Tetra 45在真空室中的典型工艺温度是多少？
Diener electronic 的 Tetra 45 通常在室温至约 80 °C 范围内运行——具体温度取决于组件、腔室类型、工艺时间和装载量。如需更高温度，可向 Diener electronic 提出申请，通过加热元件实现。
Tetra 45的真空室中，通常具有什么样的典型压力范围？
该Tetra 45的典型压力范围为可调的0.1至1.0毫巴，具体取决于所设定的低压等离子体工艺。
Tetra 45中可以使用哪些气体？
在Tetra 45中以及一般低压等离子体中，可使用以下气体：O₂、N₂、Ar、室内空气、CO₂、H₂O蒸汽和甲烷气
使用Tetra 45系统进行涂覆时，每次能涂覆多少？
借助Diener electronic公司的Tetra 45系统，可实现低至微米级（< 1微米）的涂层沉积。
Tetra 45系统在软件控制方面支持哪些连接方式？
通过全PC控制，Diener electronic的Tetra 45等离子系统具有以下连接选项：
- 上级控制系统，例如通过 Profinet 连接
- MES系统，例如通过OPC UA
- 通过 ODBC 连接数据库
