型号 1，标准设备 基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： 针型阀
型号 2
型号 2，标准设备 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： MFC
型号 3
型号 3，标准设备 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT) （宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： MFC
型号 4
型号 4，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体） 基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统 （宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： 针型阀
型号 5
型号 5，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体） 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 （宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门 （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： MFC
型号 6
型号 6，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体） 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT) （宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： MFC
