Tetra 45

低压等离子设备(等离子清洗器)

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Tetra 45 等离子系统可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Tetra 45 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。

腔室具有以下尺寸:125 mm 高和 572 mm 宽特别适合面积较大的工件。凭借采用铝制挤压型材制成的腔室,可以灵活设计长度。

 

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各种型号

型号 1

型号 1,标准设备
基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm)
气体供给: 
针型阀

型号 2

型号 2,标准设备
基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm)
气体供给:
MFC

型号 3

型号 3,标准设备
基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT)
(宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm)
气体供给:
MFC

型号 4

型号 4,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体)
基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统
(宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm)
气体供给:
针型阀

型号 5

型号 5,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体)
基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统
(宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门
(宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm)
气体供给:
MFC

型号 6

型号 6,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体)
基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT)
(宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm)
气体供给:
MFC

技术数据

基本装备

  • 根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同
  • 腔室容积:会根据腔室长度发生改变
  • 供电电源:230 V 或者 400 V / 3 相位

气体供给

  • 质量流量控制器 (MFC)

真空腔室

  • 矩形铝,带铰链的门(约宽 572 mm,高 125 mm(深度可变)

装载件

  • 产品支架(选项:水冷型)、铝板、不锈钢板

控制系统

  •     PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
  •     PC 控制系统 (Microsoft Windows 10 IoT)

压力测量

  •     Pirani
  •     电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

  • 数字

发生器

频率:

  • 80 kHz:功率 1000 W 或 3000 W
  • 13.56 MHz:功率 0 - 300 W;0 - 600 W
  • 2.45 GHz:功率 0 - 600 W;0 - 1200 W

 

 

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

  • 不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项

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