Tetra 45

低压等离子设备（等离子清洗器）

Tetra 45 等离子系统可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Tetra 45 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。

腔室具有以下尺寸：125 mm 高和 572 mm 宽特别适合面积较大的工件。凭借采用铝制挤压型材制成的腔室，可以灵活设计长度。

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各种型号

型号 1

型号 1，标准设备
基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统
真空腔室，矩形，铝，带铰链的门，
（宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm）
气体供给：
针型阀

型号 2

型号 2，标准设备
基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统
真空腔室，矩形，铝，带铰链的门，
（宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm）
气体供给：
MFC

型号 3

型号 3，标准设备
基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT)
（宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm）
真空腔室，矩形，铝，带铰链的门，
（宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm）
气体供给：
MFC

型号 4

型号 4，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体）
基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统
（宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm）
真空腔室，矩形，铝，带铰链的门，
（宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm）
气体供给：
针型阀

型号 5

型号 5，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体）
基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统
（宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm）
真空腔室，矩形，铝，带铰链的门
（宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm）
气体供给：
MFC

型号 6

型号 6，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体）
基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT)
（宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm）
真空腔室，矩形，铝，带铰链的门，
（宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm）
气体供给：
MFC