表面技术词汇表

开放式等离子体

自由大气环境中正常环境压力下激发的技术性等离子体。此 工艺气体 大多是经过清洁的干燥压缩空气,也可能是纯 氧气 或者氮气。通过高电压气体放电实现激发。此 等离子体 由于粒子大气压下的自由行程较小,会受空间狭窄限制。
(请参见 ⇒ 常压等离子体

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