超高真空泵

这是真空技术中最常用的泵类型，在等离子体技术领域中还可以使用机械式油润滑型旋片泵。使用这种旋片泵，可实现高达 10^-3 mbar 的大气压。如要产生超高真空，则通常需要使用 旋片泵 来产生预真空。