超高真空泵

这是真空技术中最常用的泵类型,在等离子体技术领域中还可以使用机械式油润滑型旋片泵。使用这种旋片泵,可实现高达 10-3 mbar 的大气压。如要产生超高真空,则通常需要使用 旋片泵 来产生预真空。

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