氟

氟是原子序数为 9 的化学元素，并属于卤素组。其在纯态下为双原子气体 F₂。但是，自然界中不存在纯态，而仅存在与其他元素的化合物，大多为矿物形态。氟是一种非常活性的元素。 其结果是，首先具有极大的毒性，因为其会在体内发生剧烈反应，并从而具有高腐蚀性。其造成的另一个后果是，很多含氟的化合物极其稳定，并导致其几乎不会和其他物质发生反应。这表现在以下方面，例如PTFE 和其他氟化合物几乎完全不可溶，以及诸如 四氟甲烷 CF₄ 和 六氟化硫 SF₆ 之类气体的完全惰性。氟化合物是 等离子体技术中的重要物质：上述物质实际上不会发生化学反应，其在等离子体中 形成自由基 才能够彻底发生化学反应。 紫外线辐射 还会断开 C-F 键。
借此，会产生氟自由基，其会导致 CF₄ 和 SF₆ 成为特别有效的蚀刻气体，特别是对于硅，其会产生氟化硅 SiF₄。 借此，PTFE 还可以分裂出氟自由基，其可在 氢气等离子体 中与自由基反应生成氟化氢 HF。然后，PTFE 上会保留自由基位点，其使 PTFE 具有润湿性和粘合性。另一方面，通过对氢氟烃进行 等离子体聚合 可形成类似于 PTFE 的涂层，并从而产生 超级疏水 和 防油扩散性涂层。可在等离子体中为容器涂覆氟化层，形成的 阻隔涂层 可防止诸多如汽油之类的液体发生 渗透 。