氟是原子序数为 9 的化学元素,并属于卤素组。其在纯态下为双原子气体 F2。但是,自然界中不存在纯态,而仅存在与其他元素的化合物,大多为矿物形态。氟是一种非常活性的元素。 其结果是,首先具有极大的毒性,因为其会在体内发生剧烈反应,并从而具有高腐蚀性。其造成的另一个后果是,很多含氟的化合物极其稳定,并导致其几乎不会和其他物质发生反应。这表现在以下方面,例如PTFE 和其他氟化合物几乎完全不可溶,以及诸如 四氟甲烷 CF4六氟化硫 SF6 之类气体的完全惰性。氟化合物是 等离子体技术中的重要物质:上述物质实际上不会发生化学反应,其在等离子体中 形成自由基 才能够彻底发生化学反应。 紫外线辐射 还会断开 C-F 键。
借此,会产生氟自由基,其会导致 CF4 和 SF6 成为特别有效的蚀刻气体,特别是对于硅,其会产生氟化硅 SiF4。 借此,PTFE 还可以分裂出氟自由基,其可在 氢气等离子体 中与自由基反应生成氟化氢 HF。然后,PTFE 上会保留自由基位点,其使 PTFE 具有润湿性和粘合性。另一方面,通过对氢氟烃进行 等离子体聚合 可形成类似于 PTFE 的涂层,并从而产生 超级疏水防油扩散性涂层。可在等离子体中为容器涂覆氟化层,形成的 阻隔涂层 可防止诸多如汽油之类的液体发生 渗透

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