罗茨泵

罗茨泵是一种用于产生精真空的泵，按照其工作方式也可将其称为摇杆式活塞泵。与 旋片泵 相比，其特殊优势在于可无油工作。故此，其也适用于输送腐蚀性介质。但是，罗茨泵无法有效抵抗大气压，故此罗茨泵本身需要一个预真空泵，例如一个用于在出口侧产生粗真空的旋片泵。而双级罗茨泵则无需预真空泵，此外还能够产生达到高真空范围 (10^-4 bar) 的压力。