Pico

低压等离子设备(等离子清洗器)

Pico 等离子设备可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Pico 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Pico 系统主要应用于以下领域

  • 分析 (REM, TEM)
  • 考古
  • 汽车
  • 研究和开发部门
  • 半导体技术
  • 小批量生产
  • 塑料技术
  • 医疗技术
  • 微系统技术
  • 传感技术
  • 灭菌
  • 纺织技术

等离子处理方法

材料清洗

等离子体技术可为所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案。此外,还能分解由分子构成的残留污染物。

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材料活化

表面具有良好的润湿性,是确保在 涂漆、粘接、印刷 或者 键合 时与结合配偶体 粘附 的前提条件。

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材料蚀刻

等离子体技术可用于各向异性和各向同性蚀刻。通过化学蚀刻进行各向同性蚀刻,通过物理蚀刻进行各向异性蚀刻。

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材料涂覆

使用低压等离子体,可以改良具有不同涂层的工件。为此,会将气态和液态原材料输送到真空腔室中。

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技术数据

基本装备

  •     根据组件/选装件,外壳规格会有所不同
  •     腔室容积:根据具体版本 4 - 15 升
  •     供电电源:台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

气体供给

  •     针型阀
  •     质量流量控制器 (MFC)

真空腔室

  •     圆形不锈钢,带盖(约 ∅ 150 mm,长 320 mm 或长 600 mm)或
  •     矩形不锈钢,带铰链的门(约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm)
  •     矩形铝材,带铰链的门(约 ∅ 160 mm x 160 mm,长 325 mm 或长 600 mm)
  •     圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 130 mm,长 300 mm 或长 600 mm)
  •     圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 130 mm,长 300 mm 或长 600 mm)

装载件

  • 产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 

电极

  •     单层或多层
  •     RIE

控制系统

  •     半自动型
  •     PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
  •     PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
  •     旋转开关

压力测量

  •     Pirani
  •     电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

  • 数字

发生器

频率:    

  • 40 kHz:功率 0 - 200 W;0 -1000 W
  • 100 kHz:功率 500 W
  • 80 kHz:功率 1000 W
  • 13.56 MHz:功率  0 - 100 W;0 - 300 W
  • 2.45 GHz:功率 0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 

真空泵

  • 不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项

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