紧凑型结构下的工艺容积
4 - 8 升的腔室容积为各种应用提供了充足的空间。Pico 等离子系统既可作为台式设备,也可作为立式设备进行安装,并能灵活地集成到现有的实验室或生产环境中。
根据具体需求,可选择半自动控制、Low Cost PC控制、基础PC控制乃至全PC控制等多种控制方案。 其中全电脑控制模式支持对工艺流程进行个性化配置、工艺数据归档、报警列表管理,并可与制造执行系统(MES)对接。由此,等离子工艺变得透明、可重复且可完全记录。
Pico等离子系统适用于各种材料表面的清洗、活化、蚀刻和功能化处理,广泛应用于实验室、研发部门以及工业生产流程中。

4 - 8升 腔室
Pico等离子设备配备4 - 8升的腔室容积,非常适合处理工业领域中体积较大的零部件。 对于要求高纯度的应用,可提供硼硅酸盐玻璃或石英玻璃制成的腔室。这些腔室具有出色的耐化学腐蚀性,可确保极高的工艺纯度。 针对特定应用,还可选择旋转鼓式腔体,以确保处理过程均匀一致。因此,等离子设备Pico可广泛应用于医疗技术或实验室工作领域。针对工业应用,我们提供不锈钢或铝制腔体,可确保工业工艺特别安全且稳定。

模块化系统
凭借多年的经验和经过验证的设计方案,Diener electronic 开发了一套独特的模块化系统,可据此灵活设计等离子设备 Pico。 为了便于将其轻松集成到现有的生产环境中,等离子设备Pico可采用紧凑型台式机箱或坚固的立式机箱进行组装。腔室尺寸决定了机箱的选择以及相应的控制元件。 最终打造出的是一套专为具有高要求应用场景的工业领域量身定制的生产设备。

控制
针对Pico台式设备的紧凑型结构,可选择LowCost、Basic PC以及操作直观的半自动控制系统。 在半自动控制模式下,工艺参数可手动调节,因此操作无需任何专业知识。对于工业应用,配备预设工艺流程的简易型 Low Cost 或 Basic PC 控制系统的坚固立式机箱是理想之选。 对于要求较高的生产环境,可选择全PC控制系统。该系统支持工艺存档、报警列表和网络连接功能。工艺的透明度及其可追溯性为高效且经济的生产奠定了基础。
技术数据
外壳尺寸
台式
立式
控制装置
半自动
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
真空室
不锈钢, 铰链门
⌀ 150 mm x
深 319 mm; 卷 约 6 升
不锈钢, 铰链门
宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm; 卷 约 8 升
铝, 铰链门
宽 150 mm x 高 160 mm x 深 325 mm; 卷 约 8 升
可选: 深度可灵活扩展,最大可达3000毫米
石英玻璃, 铰链门
⌀ 130 mm x
深 300 mm; 卷 约 4 升
硼硅玻璃, 铰链门
⌀ 130 mm x
深 300 mm; 卷 约 4 升
发电机
40.00 千赫 | 功率输出 0 - 200 W
100.00 千赫 | 功率输出 0 - 500 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W
2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 300 W
供气
针型阀
MFC (Mass flow controller)
电极
根据客户要求
压力测量
皮拉尼传感器
容积式压力表
电源
230 V | 16 A
400 V | 16 - 125 A
保留技术变更权利。
FAQ 常见问题
运行过程中可以打开腔室门吗?
在正常情况下不会,因为真空产生的负压会将门吸附在腔体外壳上。
Pico可以用来处理哪些内容?
使用Diener electronic的Pico,可以处理所有耐真空的材料。
Pico能否处理对温度敏感的部件?
是的,由于这是冷等离子体,因此Diener electronic的低压等离子体设备Pico适用于对温度敏感的元器件。
对静电敏感的元件可以使用Pico进行处理吗?
是的,使用Pico的低压等离子体可以实现这一点。如有需要,我们的工艺部门可为您进行测试。
使用等离子设备Pico可以活化哪些表面?
使用Diener electronic公司的等离子设备Pico,可对塑料、金属、玻璃、陶瓷和纺织品等表面进行活化处理。
Pico等离子系统适合连续运行吗?
所有工业用标准和特殊系统,例如Diener electronic的Pico,均设计用于连续运行,并由服务技术人员定期进行功能维护。
Pico在真空室中的典型工艺温度是多少?
Diener electronic 的 Pico 通常在室温至约 80 °C 范围内运行——具体温度取决于组件、腔室类型、工艺时间和装载量。如需更高温度,可向 Diener electronic 提出申请,通过加热元件实现。
Pico系统在软件控制方面支持哪些连接方式?
通过全PC控制,Diener electronic的Pico等离子系统具有以下连接选项:
- 上级控制系统,例如通过 Profinet 连接
- MES系统,例如通过OPC UA
- 通过 ODBC 连接数据库
Pico等离子系统的控制软件能否根据我们的要求进行修改?
根据您的要求,Diener electronic 可对Pico系列的全PC控制系统进行定制。如有相关需求,请与我们联系。
是否需要排气过滤器?
是的,无论使用何种气体,所有设备都必须连接到良好的排气系统! 运行过程中会产生氮氧化物、废气、细微油雾(油泵运行时)等,这些物质绝不能吸入;此外,这些气体通常呈酸性,因此会加速周围零部件、机器及设备的锈蚀。













