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通常在 低压等离子体 或在 常压等离子体 作为 工艺气体 用于进行 等离子清洗 或者 等离子活化 使用的是自然成分的空气。通常使用空气等离子体代替氧气等离子体。空气必须经过清洗和干燥。
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