微波耦合

微波辐射 (2.45 MHz并非如同激发频率较低时通过 电极 来产生，而是产生于 磁控管。磁控管始终位于实际 等离子体 的外部，并通过石英玻璃窗口将其辐射馈送入 等离子体腔室 。这种产生等离子体的方法称为微波耦合。