等离子体 中的 气体放电 会释放出极高的温度。原因是由于欧姆电阻和高电流引起的功耗。在 高频激发 于 低压等离子体 进行时，仅会发生最低限度的温度升高现象。其原因在于，离子因其质量惯性的原因无法遵循交变场较高的频率，其分子运动几乎保持不变。但是，由于介质的温度是由 分子 和 原子 的动能而产生的，故此与未激发的气体相比，等离子体的温度实际上并未升高。故此，以高频激发的低压等离子体中的温度负荷也同样适合对温度敏感型基材，包括几乎所有塑料，进行处理。在低压等离子体中，仅导电基材会由于感应电流而剧烈升温（如在微波炉中一样）。
