各向异性

各向异性意味着各空间方向有所不同。与 各向同性 相反(在所有空间方向上均相同)。
如果材料在不同方向有所不同(例如:刚性或导电性),则其具有各向异性特性。等离子体效应可以设置为各向同性或各向异性。特别是对微结构进行 蚀刻 时,需力求具有较强的各向异性,也就是说:较强的蚀刻速度首选方向。
特别是物理蚀刻方法具有各向异性效应(离子蚀刻RIE)。

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