各向异性

各向异性意味着各空间方向有所不同。与 各向同性 相反（在所有空间方向上均相同）。
如果材料在不同方向有所不同（例如：刚性或导电性），则其具有各向异性特性。等离子体效应可以设置为各向同性或各向异性。特别是对微结构进行 蚀刻 时，需力求具有较强的各向异性，也就是说：较强的蚀刻速度首选方向。
特别是物理蚀刻方法具有各向异性效应（离子蚀刻、 RIE）。