配件

阀用于有针对性地计量单体。

ESD 是 electrostatic discharge 的英文缩写。就是所谓的静电放电。生产期间，必须对诸多电子元件进行防放电保护。若要使用等离子设备生产此类元件，则可以对其进行特殊配置，以免 发生放电。

某些等离子工艺流程需要使用氢气作为工艺气体。如果由于技术缺陷导致氢气意外泄漏，则会迅速引发危险。逸出的氢气会燃烧，在最坏的情况下会引发爆炸。为了防止发生这种危险，可以给具有 Full PC 控制系统的等离子设备配备一个气体检测仪。其可以检测到环境中氢气浓度的增加，并发出 警报。

为了能够将等离子设备的上部用作存放架，则可以订购一个橡胶垫。其可以保护等离子设备免受损坏。此外，其还可以用作要放到设备上的部件的“防滑垫” 。

微型计量泵用于将液态单体输入到真空腔室中。利用这种技术，可以非常精确地调节单体进入到真空腔室的量。

对等离子工艺流程进行监控，以确保质量。检测等离子工艺流程的最终产物。OES 仅与 PC 控制设备结合使用。

氧气-气瓶用作工艺气体的连接，其为 2.5 和 10 升规格，氢气-气瓶的规格为 2 升，氩气-气瓶的规格为 5 升。供应气体时，需将特殊的运输条件考虑在内。如果使用的是租用设备，则必须购买气瓶。

分为圆形和矩形两种，均为不锈钢材质，可获得较高的蚀刻速率。应用领域为各向异性和各向同性蚀刻。

例如：用于处理薄膜/引线框架。

Diener electronic 可以为其客户提供适合各种工艺流程的合适自动化解决方案。无论是清洗、活化、蚀刻还是涂覆。所有工艺流程均可自主或完全集成地自动化进行。此外，Diener electronic 不仅可提供全自动低压等离子设备，而且还可以提供全自动常压等离子设备。根据要求，可使用自动产品支架、多关节型机器人或 3 轴机器人。

为了实施自动化，我们可以依靠经验丰富的合作伙伴，他们也可以实施复杂且完全集成的自动化解决方案。

环境空气中会产生氧气。型号 Kröber O2。氧气输出率：3-6 l/min。

用于采用易燃气体，例如：氢气、乙炔等运行

如果需要用到的接口数量超过了准备好的接口数量，则可以使用特殊法兰。

有关您的个性化电极的确切设计结构以及适合制造产品支架的其他材料方面的问题，请咨询 Diener electronic。

按照 DIN 12198 标准，在我们的设备附近（观察窗）进行了紫外线辐射测量。结果：毋庸置疑。特殊真空腔室具有圆形配盖子的结构，以及矩形配门（门配有铰链）的结构，其为铝制结构，还可以通过开孔直径和内部大小来进行区分。请和我们联系。

不锈钢板/铝板材质，适用于标准等离子工艺流程。

特殊装置，用于从外部导入等离子体腔室中。可以提供任何尺寸。请告知我们您的部件的尺寸/图纸。

针对使用腐蚀性气体的工艺流程，也可以使用干运行泵。但是，这些泵必须是专门针对这种高负载而设计的。这些泵还可以处理 颗粒、冷凝或腐蚀副产物。干运行泵的优点在于优化了生产燃料的消耗量。这些泵不需要进行预防性维护。（换油）

不锈钢材质的真空腔室适用于标准等离子工艺流程。

硼硅玻璃材质的真空腔室适用于高纯度等离子工艺流程。石英玻璃材质的真空腔室适用于超高纯度等离子工艺流程。

在一个旋转式玻璃瓶中处理粉末。充注的时候，可以从设备中将瓶子取出。

用于在清洗机中对小型零部件进行预清洗。尺寸：500 mm x 300 mm。

用于在进行等离子处理之前对小型零部件进行初步清洗。仅用于污染严重的部件。制造商：Miele：型号 WT 2670 WPM。

等离子设备中的部件位于所谓的产品支架上。这些可以根据部件和工艺流程的类型进行定制。通常还会针对一个设备生产双倍数量的产品支架。由此，即可在工艺流程执行期间给新的产品支架装配部件。

针型阀：我们的设备可以配备任何数量的针形阀。标准情况下，Femto 型等离子设备配备了 1 - 3 个，可按照要求配备更多针型阀。