标准或 PFPE 备件套件
备件套件包括：各 1 个夹紧环、1 个密封件、1 个不锈钢波纹软管（真空软管）、1 块窗玻璃、1 个门密封条、10 个用于等离子设备的细熔丝，标准套件还包含 1 升用于真空泵的矿物油，PFPE 套件还包括 1 升用于真空泵的 PFPE 油。
ESD 保护
ESD 是 electrostatic discharge 的英文缩写。就是所谓的静电放电。生产期间，必须对诸多电子元件进行防放电保护。若要使用等离子设备生产此类元件，则可以对其进行特殊配置，以免 发生放电。
喷漆/玻璃板套件（不含 LABS 测试）
在工作场所使用易燃气体时的附加安全选装件。用于进行油漆湿润缺陷测试的配件。供货范围：灌装喷漆，每 400 m 5 罐，100 块玻璃板，每块尺寸为 90 mm x 110 mm。
氢气气体检测仪
某些等离子工艺流程需要使用氢气作为工艺气体。如果由于技术缺陷导致氢气意外泄漏，则会迅速引发危险。逸出的氢气会燃烧，在最坏的情况下会引发爆炸。为了防止发生这种危险，可以给具有 Full PC 控制系统的等离子设备配备一个气体检测仪。其可以检测到环境中氢气浓度的增加，并发出 警报。
加热板
将待处理的部件置于加热板上，最高可将其加热至 150 °C，其适用于规定的工艺条件和较高的蚀刻速率。其具有两个选装件：
配有 温度显示器 ，在真空腔室的内部安装了一个热传感器，借此可以测量组件的表面温度。配有 集成于 PC 控制系统中的温度显示器 ，还在真空腔室的内部安装了一个热传感器，借此可以测量组件的表面温度。在此会在显示屏上显示温度。
工艺气体 - 气瓶
氧气-气瓶用作工艺气体的连接，其为 2.5 和 10 升规格，氢气-气瓶的规格为 2 升，氩气-气瓶的规格为 5 升。供应气体时，需将特殊的运输条件考虑在内。如果使用的是租用设备，则必须购买气瓶。
机器人自动化装置
Diener electronic 可以为其客户提供适合各种工艺流程的合适自动化解决方案。无论是清洗、活化、蚀刻还是涂覆。所有工艺流程均可自主或完全集成地自动化进行。此外，Diener electronic 不仅可提供全自动低压等离子设备，而且还可以提供全自动常压等离子设备。根据要求，可使用自动产品支架、多关节型机器人或 3 轴机器人。
为了实施自动化，我们可以依靠经验丰富的合作伙伴，他们也可以实施复杂且完全集成的自动化解决方案。
特殊真空腔室
按照 DIN 12198 标准，在我们的设备附近（观察窗）进行了紫外线辐射测量。结果：毋庸置疑。特殊真空腔室具有圆形配盖子的结构，以及矩形配门（门配有铰链）的结构，其为铝制结构，还可以通过开孔直径和内部大小来进行区分。请和我们联系。
数字式温度显示器
真空腔室的内部安装了一个热传感器。通过一个单独的显示器显示真空腔室内的温度。
腔室温度的温度显示器，不含加热板。可借此测量组件的表面温度。温度显示器也可以集成在 PC 控制系统中。在此会在显示屏上显示温度。
