配件

针对等离子设备

我们的等离子设备在大多数情况下都是客户定制的,因此可提供诸多其他选装件和选项,以根据需要额外配备设备。这些设备可以装配以下配件。 

2 路 2 通方向阀用于液体计量

阀用于有针对性地计量单体。

自动门

一扇在工艺流程开始时会自动关闭的门。

可加热的腔室

该腔室可加热至约 80 °C。温度可以调节。其适用于限定的工艺条件和较高的蚀刻速率。

鼓泡器瓶

鼓泡器瓶属于聚合配件,用于将液体单体连接至真空腔室。使用一种载气代替单体瓶进行工作。通过单体冲洗载气,例如:氩气。

蝶阀

在真空技术中,尤其是在真空泵的吸入管道内部,蝶阀用于调节气流。为此,通过调节可使管道或多或少闭合的阀板,可改变管道中的流动阻力

条形码读取器

用于跟踪批次。

减压器

减压器用于连接 200 bar 的气瓶。不同的气体需要不同的减压器。故此,针对惰性气体 H2、O2、CF4、C4F8 具有一种减压器,针对 NH3 另具有一种减压器。

压力计

真空腔室中的 Pirani 传感器或者 Baratron 压力指示器。

转鼓

用于装载散装件的产品支架类型。

连续生产系统

用于在一条自动化加工生产线中集成一台低压等离子设备。

标准或 PFPE 备件套件

备件套件包括:各 1 个夹紧环、1 个密封件、1 个不锈钢波纹软管(真空软管)、1 块窗玻璃、1 个门密封条、10 个用于等离子设备的细熔丝,标准套件还包含 1 升用于真空泵的矿物油,PFPE 套件还包括 1 升用于真空泵的 PFPE 油。

标签打印机

在等离子处理之后自动打印标签。

标签读取器

用于跟踪批次。

ESD 保护

ESD 是 electrostatic discharge 的英文缩写。就是所谓的静电放电。生产期间,必须对诸多电子元件进行防放电保护。若要使用等离子设备生产此类元件,则可以对其进行特殊配置,以免 发生放电

法拉第盒/笼

用于电敏感组件。将待处理的组件置于法拉第笼中。可将其从真空腔室中取出。

气瓶架

固定于工作台、架子或者墙壁条处。跨度为 70 mm。固定张力皮带,不得存在间隙。其适用于所有气瓶规格。

喷漆/玻璃板套件(不含 LABS 测试)

在工作场所使用易燃气体时的附加安全选装件。用于进行油漆湿润缺陷测试的配件。供货范围:灌装喷漆,每 400 m 5 罐,100 块玻璃板,每块尺寸为 90 mm x 110 mm。

氢气气体检测仪

某些等离子工艺流程需要使用氢气作为工艺气体。如果由于技术缺陷导致氢气意外泄漏,则会迅速引发危险。逸出的氢气会燃烧,在最坏的情况下会引发爆炸。为了防止发生这种危险,可以给具有 Full PC 控制系统的等离子设备配备一个气体检测仪。其可以检测到环境中氢气浓度的增加,并发出 警报。 

橡胶垫

为了能够将等离子设备的上部用作存放架,则可以订购一个橡胶垫。其可以保护等离子设备免受损坏。此外,其还可以用作要放到设备上的部件的“防滑垫” 。

加热板

将待处理的部件置于加热板上,最高可将其加热至 150 °C,其适用于规定的工艺条件较高的蚀刻速率。其具有两个选装件:

配有 温度显示器 ,在真空腔室的内部安装了一个热传感器,借此可以测量组件的表面温度。配有 集成于 PC 控制系统中的温度显示器 ,还在真空腔室的内部安装了一个热传感器,借此可以测量组件的表面温度。在此会在显示屏上显示温度。

石英玻璃舟皿

可提供两种尺寸。用于超高纯度等离子工艺流程或者晶片处理。

真空腔室慢速通风装置

通过一个过滤器缓慢地对真空腔室进行通风。这样可以防止腔室中的小型组件急速旋转。

功率显示器

显示发生器的功率。模拟显示仪器。

多层电极

多层电极可用于圆形和/或矩形真空腔室。可以一次对多个部件进行处理。应用领域标准等离子工艺流程。有关您的个性化电极的确切设计结构以及适合制造产品支架的其他材料方面的问题,请咨询 Diener electronic。

微型计量泵

微型计量泵用于将液态单体输入到真空腔室中。利用这种技术,可以非常精确地调节单体进入到真空腔室的量。 

微波泄漏检测仪

由于可能会用到危险的辐射,所以需为微波设备安装一个微波泄漏检测仪

单体瓶

聚合配件。用于将液态单体连接至真空腔室。

OES - 光学发射光谱仪

对等离子工艺流程进行监控,以确保质量。检测等离子工艺流程的最终产物。OES 仅与 PC 控制设备结合使用。

工艺气体 - 气瓶

氧气-气瓶用作工艺气体的连接,其为 2.5 和 10 升规格,氢气-气瓶的规格为 2 升,氩气-气瓶的规格为 5 升。供应气体时,需将特殊的运输条件考虑在内。如果使用的是租用设备,则必须购买气瓶

RIE-电极

分为圆形和矩形两种,均为不锈钢材质,可获得较高的蚀刻速率。应用领域为各向异性和各向同性蚀刻。

带气体喷淋装置的 RIE-电极

矩形,不锈钢材质。通过均匀的气体分布,可获得较高的蚀刻速率。
应用领域是各向异性蚀刻。

卷对卷系统

例如:用于处理薄膜/引线框架。

机器人自动化装置

Diener electronic 可以为其客户提供适合各种工艺流程的合适自动化解决方案。无论是清洗、活化、蚀刻还是涂覆。所有工艺流程均可自主完全集成地自动化进行。此外,Diener electronic 不仅可提供全自动低压等离子设备,而且还可以提供全自动常压等离子设备。根据要求,可使用自动产品支架、多关节型机器人或 3 轴机器人。

为了实施自动化,我们可以依靠经验丰富的合作伙伴,他们也可以实施复杂且完全集成的自动化解决方案。 

氧气发生器

环境空气中会产生氧气。型号 Kröber O2。氧气输出率:3-6 l/min。

安全阀

用于采用易燃气体,例如:氢气、乙炔等运行

特殊法兰/附加法兰

如果需要用到的接口数量超过了准备好的接口数量,则可以使用特殊法兰。

特殊电极和产品支架

有关您的个性化电极的确切设计结构以及适合制造产品支架的其他材料方面的问题,请咨询 Diener electronic。

特殊真空腔室

按照 DIN 12198 标准,在我们的设备附近(观察窗)进行了紫外线辐射测量结果:毋庸置疑。特殊真空腔室具有圆形配盖子的结构,以及矩形配门(门配有铰链)的结构,其为铝制结构,还可以通过开孔直径和内部大小来进行区分。请和我们联系。

标准电极,圆形或者矩形

不锈钢板/铝板材质,适用于标准等离子工艺流程。

TEM-样品架

特殊装置,用于从外部导入等离子体腔室中。可以提供任何尺寸。请告知我们您的部件的尺寸/图纸。

数字式温度显示器

真空腔室内部安装了一个热传感器。通过一个单独的显示器显示真空腔室内的温度。 

腔室温度温度显示器,不含加热板。可借此测量组件的表面温度。温度显示器也可以集成在 PC 控制系统中。在此会在显示屏上显示温度。

温度显示器集成在 PC 控制系统中

真空腔室内部安装了一个热传感器。

腔室内的温度将会直接显示在设备控制系统中。

干运行真空泵,用于使用腐蚀性气体的等离子工艺流程

针对使用腐蚀性气体工艺流程,也可以使用干运行泵。但是,这些泵必须是专门针对这种高负载而设计的。这些泵还可以处理 颗粒、冷凝或腐蚀副产物。干运行泵的优点在于优化了生产燃料的消耗量。这些泵不需要进行预防性维护。(换油)

不锈钢材质的真空腔室

不锈钢材质的真空腔室适用于标准等离子工艺流程。

玻璃(硼硅或石英)材质的真空腔室

硼硅玻璃材质的真空腔室适用于高纯度等离子工艺流程。石英玻璃材质的真空腔室适用于超高纯度等离子工艺流程。

用于处理粉末的装置

在一个旋转式玻璃瓶中处理粉末。充注的时候,可以从设备中将瓶子取出。

清洗袋

用于在清洗机中对小型零部件进行预清洗。尺寸:500 mm x 300 mm。 

清洗干燥器

用于在进行等离子处理之前对小型零部件进行初步清洗。仅用于污染严重的部件。制造商:Miele:型号 WT 2670 WPM。

产品支架

等离子设备中的部件位于所谓的产品支架上。这些可以根据部件和工艺流程的类型进行定制。通常还会针对一个设备生产双倍数量的产品支架。由此,即可在工艺流程执行期间给新的产品支架装配部件。

附加的气体通道

针型阀:我们的设备可以配备任何数量的针形阀。标准情况下,Femto 型等离子设备配备了 1 - 3 个,可按照要求配备更多针型阀。

附加的 MFC

MFC:在 PC 和 PCCE 控制系统中需要用到。我们的设备可以配备任何数量的质量流量控制器 (MFC)。

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