气体供给

工艺气体 可通过气瓶供给,如果是在大气压下为液体的介质,则可通过蒸发器供给。气体供给可通过一个 针型阀 进行精确调节。气体供给必须足够低,以保持所需的压力水平,另一方面还必须存在足够的 活性种 ,以达到足够的工艺速度。

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