气体供给

工艺气体 可通过气瓶供给，如果是在大气压下为液体的介质，则可通过蒸发器供给。气体供给可通过一个 针型阀 进行精确调节。气体供给必须足够低，以保持所需的压力水平，另一方面还必须存在足够的 活性种 ，以达到足够的工艺速度。