灰化 (Ashing)

德语术语：“Veraschung”。降解碳氢化合物涂层的方法是 等离子蚀刻。此 聚合物 将被分解成碎片，这些碎片本身为气态，或者与等离子体的 活性种 反应形成气态分子 然后通过 真空泵 抽吸出这些气态分子。工业意义主要是 光刻胶灰化 在半导体技术中的使用。