sccm

表示“Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准立方厘米”。

标准立方厘米是指正常条件下 气体 的质量和粒子数：T = 0°C 且 p = 1013.25 hPa。

测量变量 sccm 是指通过 真空泵 或气体管线输送气体的量。