Ashing

Deutscher Begriff: "Veraschung". Abbau von Kohlenwasserstoffschichten durch Plasmaätzen. Die Polymere werden in Bruchstücke zerlegt, die selbst gasförmig sind oder mit aktiven Spezies des Plasmas zu gasförmigen Molekülen reagieren, die durch die Vakuumpumpe abgesaugt werden. Industrielle Bedeutung hat vor allem die Fotolackveraschung in der Halbleitertechnik.

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