NiederdruckplasmaPlasmassystem Tetra 360
Modulare Plasmaanlage für wachsende Anforderungen
Mit einem Kammervolumen von 360 Litern und einem modularen Vakuumkammersystem im geräumigen Gehäuse lässt sich die Anlage optimal an neue Produkte, größere Bauteile und veränderte Produktionsanforderungen anpassen.
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Flexibilität für heute und zukünftige Produktionsanforderungen
Das Plasmasystem Tetra 360 verbindet ein großzügiges Kammervolumen mit einem modularen Anlagenkonzept. Das Vakuumkammersystem ermöglicht eine individuelle Anpassung an unterschiedliche Bauteilgrößen und zukünftige Produktionsanforderungen.
Je nach Anwendung stehen verschiedene Steuerungsoptionen zur Verfügung – von standardisierten Prozessprogrammen bis zur vollständig individualisierbaren Full PC-Steuerung mit Prozessarchivierung, Alarmmanagement und optionaler MES-Anbindung. Dadurch bleiben sämtliche Prozessschritte transparent und nachvollziehbar.
Mit ihrem flexiblen Anlagenkonzept eignet sich die Tetra 360 sowohl für Entwicklungsabteilungen als auch für den industriellen Serienbetrieb. Unternehmen profitieren von einer hohen Investitionssicherheit, da sich die Anlage mit zukünftigen Anforderungen weiterentwickeln kann.
Reinigen
Die Niederdruckplasma Anlage Tetra 360 bietet Lösungen für die Feinstreinigung aller Oberflächen, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Die Plasmareinigung entfernt alle organischen Rückstände ohne das Bauteil chemisch oder thermisch zu belasten.
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Aktivieren
Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche. Die Plasmaaktivierung der Niederdruckplasma Anlage Tetra 360 schafft polare Bindungspartner und erhöht die Oberflächenenergie.
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Beschichten
Die Niederdruckplasma Anlage Tetra 360 kann Oberflächen auch durch eine Beschichtung modifizieren. In einer Plasmabeschichtung können hydrophobe, hydrophile, Schutz- oder Isolierschichten jeglicher Art abgeschieden werden.
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Ätzen
Die Plasmatechnik der Niederdruckplasma Anlage Tetra 360 ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Dadurch entstehen Nanostrukturierungen von Oberflächen zu deren Vergrößerung und Haftungsverbesserung.
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360l Kammer
Die Niederdruckplasma Anlage Tetra 360 ist mit einem großen Kammervolumen von 360l ausgestattet, welches optimal für große Bauteile aus der Industrie geeignet ist. In 500mm Schritten ist die Kammer kürzer oder tiefer konstruierbar. Dafür steht eine Aluminiumkammer zur Verfügung, die besonders sichere und stabile industrielle Prozesse gewährleistet. Die großzügige Kammergröße ermöglicht die gleichzeitige Behandlung von komplexen oder mehreren Bauteilen, wodurch sich die Tetra 360 ideal für industrielle Produktionsprozessen und Serienanwendungen eignet.
Eine einfache Integration an bestehende Produktionsumgebungen ist durch das modulare Vakuumkammersystem geboten.
Eektrode
Mit dem Fortschritt der Technologie steigen auch die Anforderungen. Mit Diener electronic profitieren Unternehmen von einer hohen Investitionssicherheit, da sich die Niederdruckplasma Anlage Tetra 360 mit zukünftigen Anforderungen weiterentwickeln kann. Das anpassungsfähige Baukastensystem ermöglicht es bei der Konstruktion der Tetra 360, je nach Verwendungszweck zwischen Ein- und Mehretagenelektroden auszuwählen. Für komplexe größere Bauteile, die viel Platz in der Kammer einnehmen bietet sich eine Elektrode an, die gleichmäßiges Behandeln sichert. Für viele kleine Bauteile, die auf mehreren Etagen liegen werden Mehretagen oder auch eine Drehtrommelelektrode installiert, um in jedem Anwendungsfall eine gleichmäßige Behandlung zu gewährleisten.
Steuerung
Für anspruchsvolle Produktionsumgebungen in der Industrie ist das Steuerungselement mit einem Full PC mit Windows IOT als Betriebssystem für die Tetra 360 optimal. Damit sind Archivierungen der Prozesse, Alarmlisten, Ferndiagnostik und Netzwerkanbindungen gegeben. Transparenz der Prozesse und deren Rückverfolgbarkeit schaffen die Basis für eine effiziente und wirtschaftliche Produktion. Unterschiedliche Hardwarekonfigurationen bieten maximalen Spielraum für zu bewerkstelligende Prozesse. Durch den PI/PID Druckregler ist eine Druckstabilisierung möglich, die zu jederzeit exakt reproduzierbare Prozesse ermöglicht. Mit der Full PC Steuerung werden die laufende Prozesse größer, detaillierter und schneller erfassbar dargestellt
Technische Daten
Gehäuseabmessungen
Standgerät
Steuerung
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
Vakuumkammer
Aluminium, Scharniertüre
B 600 mm x H 600 mm x T 1000 mm; Volumen ca. 360 Liter
Optional: Tiefe modular erweiterbar in 500 mm Schritten
Generator
80,00 kHz | Leistung 0 - 1000 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 1000 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 3000 W
Gaszufuhr
MFC (Mass flow controller)
Elektrode
Einetagen Elektrode
Mehretagen Elektrode
Druckmessung
Pirani Sensor
Kapazitätsmanometer
Spannungsversorgung
400 V | 16 - 125 A
Technische Änderungen vorbehalten.
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FAQ Häufig gestellte Fragen
Welche Anbindungsmöglichkeiten in Bezug auf die Software-Steuerung ist bei dem System Tetra 360 möglich?
Mit der Full PC-Steuerung hat das Plasmasystem Tetra 360 von Diener electronic folgende Anbindungsmöglichkeiten wie:
- übergeordnete Steuerungen z.B. mittels Profinet
- MES-System z.B. über OPC UA
- Datenbankanbindung über ODBC
Was kann mit der Tetra 360 alles behandelt werden?
Mit der Tetra 360 von Diener electronic können alle Materialien die vakuumbeständig sind behandeln werden.
Wie viel kann mit dem System Tetra 360 beim Beschichten aufgetragen werden?
Mit dem System Tetra 360 von Diener electronic kann bis in den unteren Mikrometerbereich (< 1 mikrometer) eine Beschichtung aufgetragen werden.
Welche Gase können bei der Tetra 360 eingesetzt werden?
Bei der Tetra 360 sowie generell im Niederdruckplasma können folgende Gase eingesetzt werden: O2, N2, Ar, Raumluft, CO2, H2O-Dampf und Formiergas
Kann mit der Tetra 360 temperaturempflindliche Bauteile behandelt?
Ja, da es sich um ein kaltes Plasma handelt, ist die Niederdruckplasmaanlagen Tetra 360 von Diener electronic geeignet für temperaturempfindliche Bauteile.
Wie hoch ist die typische Prozesstemperatur bei der Tetra 360 in der Vakuumkammer?
Bei der Tetra 360 von Diener electronic liegt normalerweise die Temperatur bei Raumtemperatur bis ca. 80 °C - in Abhängigkeit von Bauteil, Kammerart, Prozesszeit und der Beladungsmenge. Höhere Temperaturen können auf Anfrage bei Diener electronic mittels Heizelemente erreicht werden.
Kann die Anlage Tetra 360 magnetische Bauteile behandelt?
Auch magnetische Bauteile lassen sich in der Vakuumkammer der Tetra 360 von Diener electronic gut behandeln.
Können ESD-empfindliche Bauteile mit der Tetra 360 behandelt werden?
Ja, mit Niederdruckplasma der Tetra 360 ist dies möglich. Auf Anfrage kann einen Versuch in unserer Prozessabteilung durchgeführt werden.
Welcher typische Druckbereich ist in der Regel bei der Tetra 360 in der Vakuumkammer?
Der typische Druckbereich der Tetra 360 liegt bei einstellbaren 0,1 - 1,0 mbar, je nach definiertem Niederdruckplasmaprozesse.
Sind Abluftfilter bei der/dem Tetra 360 nötig?
Ja, alle Anlagen müssen zwingend an eine gute Abluft angeschlossen werden vollkommen egal welches Gas verwendet wird. Es entstehen Stickoxide, Abgase, feine Öl-Nebel (bei Öl Pumpen), usw., welche nicht eingeatmet werden dürfen, zudem sind die Gase oft sauer, somit begünstigen sie das Rosten von umliegenden Teilen, Maschinen, Anlagen.
Welche Frequenz liegt bei der GHz-Anlage Tetra 360 an?
Die Generatoren zur GHz-Anlage Tetra 360 arbeiten mit ISM-Frequenz 2,45 MHz - vergleichbar mit der Intensität wie bei einer Mikrowelle. Fragen Sie bitte nach den Sicherheitsbestimmungen für Personen mit Herzschrittmacher.
Welche Oberflächen kann mit der Plasmaanlage Tetra 360 aktiviert werden?
Mit der Plasmaanlage Tetra 360 von Diener electronic lassen sich folgende Oberflächen wie Kunststoffe, Metalle, Gläser, Keramiken und Textilien aktivieren.
Kann die Steuerungs-Software beim Plasmasystem Tetra 360 auf unsere Anforderungen geändert werden?
Auf Wunsch passen wir von Diener electronic die Full PC-Steuerung der Modellreihe Tetra 360 an. Sprechen Sie uns bitte diesbezüglich an.
