Steuerung

• Die Steuerung erfolgt durch einen PC
• Die PC-Steuerung ist in die Anlage eingebaut
• Betriebssystem Windows 10 IoT, andere Systeme auf Nachfrage
• Druckluftwächter
• 100 automatische Prozesse sind erstellbar mit jeweils 10 Subprogrammen (z. B. 10 Minuten reinigen mit Sauerstoff, anschließend reduzieren mit Wasserstoff)
• Eingabe eines Kommentars
• Speichern der Prozessdaten als Excel-Datei und als Diagramm
• Netzkarte – automatischer Datenexport auf Netzwerkcomputer möglich
• Bedienung mit Programm unter Windows
• Zwei Modi: Manueller Betrieb: Manuelles Bedienen der Anlage über Dialogbox automatischer Betrieb: Automatischer Ablauf eines zuvor erstellten Prozesses
• Parameter: Abpumpdruck (bis Prozessstart), maximale Abpumpzeit, Gas-Massenflüsse (Verhältnisse), Prozessdruck, Stabilisierungszeit, HF-Leistung, Prozessdauer mit HF, Spülzeit, Belüftungszeit
• Fehlergrenzen für: Massenfluss, Prozessdruck, HF-Leistung
• Digitale Druckregelung über PI/PID-Regler, d. h. nicht nur Steuerung der Massenflüsse, sondern echte Druckstabilisierung
• Die Druckregelung erfolgt in Echtzeit und über die gesamte Prozesszeit
• Anzeige aller Programmschritte im Echtzeitmodus
• Sicherheitsrelevante Einstellungen, z. B. blockierte Steuerelemente aus Sicherheitsgründen: Solange die Kammertür geöffnet ist, darf nicht abgepumpt werden
• Rezipient: es wird der Zustand des Türschalters, des Übertemperaturschalters und des Vakuumschalters angezeigt
• Eingabe einer Chargennummer und eines Bedieners
• Wartungsintervalle sind individuell einstellbar, je nach Betriebsstunden
• Die Sensibilität für die Druckregelung ist einstellbar
• Alarmarchiv mit Anzeige aller Alarme
• Detaillierte Fehlermeldungen, z. B. der Ist-Gasfluss von Gas 1 weicht stark vom Sollwert ab
• Diagramm auch im Vollbildmodus verfügbar
• Programmierung nur mit Passwort-Eingabe möglich (Sicherheit für die Produktion)
• Im Datenarchiv können alle gespeicherten Prozesse inkl. Dateiinformationen jederzeit angesehen werden
• Bei einer Drehtrommel ist eine Intervallangabe möglich (z. B. 60 Sek. Drehen, 30 Sek. Stopp, 60 Sek. Drehen, 30 Sek. Stopp)
• Gasversorgung: Die Sollwerte für die einzelnen Mass-Flow-Controller (MFC’s) können vorgegeben werden, die aktuellen Ist-Werte werden angezeigt
• Einstellungen sind Prozess-unabhängig, aber anlagen- und kundenabhängig möglich (Gasarten, Mass-Flow-Controller, Druckregler, Kühlwasser, Speicherort und -art)
• Sprachauswahl, Standard: Deutsch und Englisch, OPTIONAL sind auf Wunsch auch andere Sprachen möglich
• Signalturm (rotes und grünes Signal).

Auf Wunsch sind folgende Optionen möglich:

• Bei Verwaltung verschiedener Elektroden ist eine Auswahl der Elektrodenüberwachung möglich. (Bsp. Drehtrommel / Etagenelektrode)
• Akustisches Signal bei Prozessende
• Taktung für den Verdampfer
• Regelung der Temperaturanzeige
• Anzeige der aktuellen Kühlwassertemperatur
• Ferndiagnose
• Protokollausdruck über einen handelsüblichen Drucker. Der Drucker ist nicht im Lieferumfang enthalten
• Das Diagrammlayout kann angepasst werden
• Wächter für DC-Bias-Quelle
• Barcodeleser
• Der HF-Generator kann gepulst werden
• Temperaturanzeige

• Das Gerät verfügt über ein 3,5“ TFT-Display mit Touchscreen (optional 7“). Mit seiner voll grafischen farbigen Oberfläche im Windows Look & Feel ist eine einfache intuitive Bedienung möglich. Im Gegensatz zu normalen LCD-Displays ohne Touchfunktionalität ist keine weitere Folientastatur, z. B. mit Funktionstasten für Mehrebenen-Bedienung, erforderlich
• Betriebssystem Windows CE
• Es stehen zwei Betriebsarten zur Verfügung: Automatik und Manuell
• Manueller Modus:
  • Das Ein- und Ausschalten von Einzel-Aggregaten, z. B. Ventilen, ist durch einfaches Tippen auf das zugehörige Symbol möglich
  • Die Eingabe von Sollwerten kann durch Antippen einer Gruppe, z. B. dem Generator, erfolgen
  • Es erscheint ein Kontext-Dialog in welchem die Sollwerte über den Touchscreen mit virtuellen +/- Schaltern verändert werden können
• Automatischer Modus:
  • Für die Programmerstellung stehen 50 Programmplätze zur Verfügung
  • Die Programmierung ist direkt über den Touchscreen am Gerät möglich. Es ist kein externes Programmiergerät oder PC nötig
  • Jedem Programm kann ein Programmname zugeordnet werden
  • Anzeige des zeitlichen Verlaufs von relevanten Prozessgrößen im Kurvendiagramm
• Anzeige des aktuellen Prozess-Schrittes und der abgelaufenen Prozesszeit im Hauptbild
• Anzeige von Alarmen über Blink-LED und Alarmliste für einfache Fehlerdiagnose
• Mehrsprachigkeit (Deutsch / Englisch), weitere Sprachen sind auf Anfrage möglich
• Ethernet-Netzwerkanschluss Remotezugriff
• Es ist ein USB-Anschluss vorhanden, welcher zum Speichern von Programmen, Alarmen, Prozesswerten etc. auf USB-Sticks verwendet werden kann
• Die Steuerung hat keine drehenden Bauteile, also keine Festplatte und keinen Lüfter und ist somit wartungsfrei
• Die Bootzeit des Gerätes ist sehr kurz
• Erfasste Prozessdaten können im Text-Format auf einer Speicherkarte im Gerät gespeichert und auf einen USB-Stick kopiert werden. Ein direktes Einlesen der gespeicherten Daten ist z. B. in Excel möglich (nur bei Bestellung der Option Data logging enthalten)
• Über den integrierten Ethernet-Netzwerkanschluss kann der Touch Panel PC von einem externen PC ferngesteuert bedient werden (nur bei Bestellung der Option Remote control enthalten)
• Wir empfehlen bei MHz-Generatoren die FULL PC Steuerung