Steuerung

für Plasmaanlagen

Einstellung der Parameter zur Durchführung eines Plasmaprozesses. Für Diener electronic Plasmaanlagen stehen die folgenden Steuerungen zur Verfügung, die optional für alle Anlagentypen einsetzbar sind.

Voll PC Steuerung

  • Die Steuerung erfolgt durch einen PC
  • Betriebssystem Windows 10 IoT
  • Zwei Modi: Manueller Betrieb: Manuelles Bedienen der Anlage über Dialogbox. Automatischer Betrieb: Automatischer Ablauf eines zuvor erstellten Prozesse
  • 100 automatische Prozesse einstellbar mit jeweils 10 Subprogrammen
  • Freie Parameter: Abpumpdruck (bis Prozessstart) Max. Abpumpzeit Gas-Massenflüsse (Verhältnisse) Prozessdruck Stabilisierungszeit HF-Leistung Prozessdauer mit HF Spülzeit Belüftungszeit

 

Weitere Informationen zur FULL PC Steuerung

  • Die Steuerung erfolgt durch einen PC
  • Die PC-Steuerung ist in die Anlage eingebaut
  • Betriebssystem Windows 10 IoT, andere Systeme auf Nachfrage
  • Druckluftwächter
  • 100 automatische Prozesse sind erstellbar mit jeweils 10 Subprogrammen (z. B. 10 Minuten reinigen mit Sauerstoff, anschließend reduzieren mit Wasserstoff)
  • Eingabe eines Kommentars
  • Speichern der Prozessdaten als Excel-Datei und als Diagramm
  • Netzkarte – automatischer Datenexport auf Netzwerkcomputer möglich
  • Bedienung mit Programm unter Windows
  • Zwei Modi: Manueller Betrieb: Manuelles Bedienen der Anlage über Dialogbox automatischer Betrieb: Automatischer Ablauf eines zuvor erstellten Prozesses
  • Parameter: Abpumpdruck (bis Prozessstart), maximale Abpumpzeit, Gas-Massenflüsse (Verhältnisse), Prozessdruck, Stabilisierungszeit, HF-Leistung, Prozessdauer mit HF, Spülzeit, Belüftungszeit
  • Fehlergrenzen für: Massenfluss, Prozessdruck, HF-Leistung
  • Digitale Druckregelung über PI/PID-Regler, d. h. nicht nur Steuerung der Massenflüsse, sondern echte Druckstabilisierung
  • Die Druckregelung erfolgt in Echtzeit und über die gesamte Prozesszeit
  • Anzeige aller Programmschritte im Echtzeitmodus
  • Sicherheitsrelevante Einstellungen, z. B. blockierte Steuerelemente aus Sicherheitsgründen: Solange die Kammertür geöffnet ist, darf nicht abgepumpt werden
  • Rezipient: es wird der Zustand des Türschalters, des Übertemperaturschalters und des Vakuumschalters angezeigt
  • Eingabe einer Chargennummer und eines Bedieners
  • Wartungsintervalle sind individuell einstellbar, je nach Betriebsstunden
  • Die Sensibilität für die Druckregelung ist einstellbar
  • Alarmarchiv mit Anzeige aller Alarme
  • Detaillierte Fehlermeldungen, z. B. der Ist-Gasfluss von Gas 1 weicht stark vom Sollwert ab
  • Diagramm auch im Vollbildmodus verfügbar
  • Programmierung nur mit Passwort-Eingabe möglich (Sicherheit für die Produktion)
  • Im Datenarchiv können alle gespeicherten Prozesse inkl. Dateiinformationen jederzeit angesehen werden
  • Bei einer Drehtrommel ist eine Intervallangabe möglich (z. B. 60 Sek. Drehen, 30 Sek. Stopp, 60 Sek. Drehen, 30 Sek. Stopp)
  • Gasversorgung: Die Sollwerte für die einzelnen Mass-Flow-Controller (MFC’s) können vorgegeben werden, die aktuellen Ist-Werte werden angezeigt
  • Einstellungen sind Prozess-unabhängig, aber anlagen- und kundenabhängig möglich (Gasarten, Mass-Flow-Controller, Druckregler, Kühlwasser, Speicherort und -art)
  • Sprachauswahl, Standard: Deutsch und Englisch, OPTIONAL sind auf Wunsch auch andere Sprachen möglich
  • Signalturm (rotes und grünes Signal).

 

Auf Wunsch sind folgende Optionen möglich:

 

  • Bei Verwaltung verschiedener Elektroden ist eine Auswahl der Elektrodenüberwachung möglich. (Bsp. Drehtrommel / Etagenelektrode)
  • Akustisches Signal bei Prozessende
  • Taktung für den Verdampfer
  • Regelung der Temperaturanzeige
  • Anzeige der aktuellen Kühlwassertemperatur
  • Ferndiagnose
  • Protokollausdruck über einen handelsüblichen Drucker. Der Drucker ist nicht im Lieferumfang enthalten
  • Das Diagrammlayout kann angepasst werden
  • Wächter für DC-Bias-Quelle
  • Barcodeleser
  • Der HF-Generator kann gepulst werden
  • Temperaturanzeige

 

SPS Steuerung

  • Die Steuerung erfolgt durch einen PC
  • Hersteller: Siemens
  • Zwei Modi: Manueller Betrieb: Manuelles Bedienen der Anlage über Dialogbox. Automatischer Betrieb: Automatischer Ablauf eines zuvor erstellten Prozesses
  • 100 automatische Prozesse einstellbar mit jeweils 10 Subprogrammen
  • Freie Parameter: Abpumpdruck (bis Prozessstart) Max. Abpumpzeit Gas-Massenflüsse (Verhältnisse) Prozessdruck Stabilisierungszeit HF-Leistung Prozessdauer mit HF Spülzeit Belüftungszeit

 

Basis PC Steuerung

  • Zur Steuerung unserer Anlagen haben wir eine neue Software entwickelt, die an die speziellen Anforderungen der Plasmatechnik angepasst ist
  • Die PC-Steuerung beruht auf der Basis von Windows CE
  • Das Gerät verfügt über ein 3,5" TFT-Display mit Touchscreen optional 7" möglich
  • Durch diese Software kann man im manuellen Modus wie auch im automatischen Modus Prozesse fahren
  • 50 Programme können in dieser Steuerung hinterlegt werden
  • Freie Parameter: Abpumpdruck (bis Prozessstart) Max. Abpumpzeit Gas-Massenflüsse (Verhältnisse) Prozessdruck Stabilisierungszeit HF-Leistung Prozessdauer mit HF Spülzeit Belüftungszeit

 

Weitere Informationen zur BASIS PC Steuerung

  • Das Gerät verfügt über ein 3,5“ TFT-Display mit Touchscreen (optional 7“). Mit seiner voll grafischen farbigen Oberfläche im Windows Look & Feel ist eine einfache intuitive Bedienung möglich. Im Gegensatz zu normalen LCD-Displays ohne Touchfunktionalität ist keine weitere Folientastatur, z. B. mit Funktionstasten für Mehrebenen-Bedienung, erforderlich
  • Betriebssystem Windows CE
  • Es stehen zwei Betriebsarten zur Verfügung: Automatik und Manuell
  • Manueller Modus:
    • Das Ein- und Ausschalten von Einzel-Aggregaten, z. B. Ventilen, ist durch einfaches Tippen auf das zugehörige Symbol möglich
    • Die Eingabe von Sollwerten kann durch Antippen einer Gruppe, z. B. dem Generator, erfolgen
    • Es erscheint ein Kontext-Dialog in welchem die Sollwerte über den Touchscreen mit virtuellen +/- Schaltern verändert werden können
  • Automatischer Modus:
    • Für die Programmerstellung stehen 50 Programmplätze zur Verfügung
    • Die Programmierung ist direkt über den Touchscreen am Gerät möglich. Es ist kein externes Programmiergerät oder PC nötig
    • Jedem Programm kann ein Programmname zugeordnet werden
    • Anzeige des zeitlichen Verlaufs von relevanten Prozessgrößen im Kurvendiagramm
  • Anzeige des aktuellen Prozess-Schrittes und der abgelaufenen Prozesszeit im Hauptbild
  • Anzeige von Alarmen über Blink-LED und Alarmliste für einfache Fehlerdiagnose
  • Mehrsprachigkeit (Deutsch / Englisch), weitere Sprachen sind auf Anfrage möglich
  • Ethernet-Netzwerkanschluss Remotezugriff
  • Es ist ein USB-Anschluss vorhanden, welcher zum Speichern von Programmen, Alarmen, Prozesswerten etc. auf USB-Sticks verwendet werden kann
  • Die Steuerung hat keine drehenden Bauteile, also keine Festplatte und keinen Lüfter und ist somit wartungsfrei
  • Die Bootzeit des Gerätes ist sehr kurz
  • Erfasste Prozessdaten können im Text-Format auf einer Speicherkarte im Gerät gespeichert und auf einen USB-Stick kopiert werden. Ein direktes Einlesen der gespeicherten Daten ist z. B. in Excel möglich (nur bei Bestellung der Option Data logging enthalten)
  • Über den integrierten Ethernet-Netzwerkanschluss kann der Touch Panel PC von einem externen PC ferngesteuert bedient werden (nur bei Bestellung der Option Remote control enthalten)
  • Wir empfehlen bei MHz-Generatoren die FULL PC Steuerung

Drehschaltersteuerung

  • Eine besonders einfache Bedienung der Plasmaanlage mithilfe eines Drehknopfes
  • Je nach Bedienungsart erfolgt die Steuerung halb- oder vollautomatisch (bis zur Plasmabehandlung)
  • Bei rechts Drehung bis zum Punkt „Process“, läuft der Prozess vollautomatisch ab
  • Die Belüftung erfolgt manuell (Schalterposition Flood)
  • Freie Parameter: Prozesszeit, Leistung, Gasart, Druck

 

Halbautomatische Steuerung

  • Die Steuerung der Abläufe erfolgt halbautomatisch
  • Die Pumpe, der Gasfluss, der Plasmaprozess und das Belüften müssen von Hand gestartet werden
  • Freie Parameter: Prozesszeit, Leistung, Gasart, Druck

 

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