Zepto (Low Cost / Low Budget)

Niederdruck-Plasmaanlage (PlasmaCleaner)

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Die Kleine - mobil, funktional und kostengünstig - passend für Ihr Labor.

Die bis zu 2,6 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO mit halbautomatischer oder Basic PC Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 
Kleinserienfertigung, Analytik (REM, TEM), Medizintechnik, Sterilisieren, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Archäologie, Textiltechnik, Kunststofftechnik

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Technische Daten

Halbautomatisch kHz / Halbautomatisch MHz

Abmessungen

B: 269 mm H: 176 mm T: 324 mm

Spannungsversorgung

230 V | 16 A

Vakuumkammer

Borosilikatglas rund, mit Deckel
Ø: 105 mm T: 200 mm Volumen ca. 1.7 L

Gaszufuhr

1 x Nadelventil

Generator

100 kHz | Leistung 0 - 30 W

13,56 MHz | Leistung 0 - 30 W

Elektrode

Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer

Steuerung

Halbautomatische Steuerung

Spannungsversorgung

230 V | 50 - 60 Hz

Druckmessung

-

Pumpe

Saugleistung min. 3 m³/h

Halbautomatisch kHz / Halbautomatisch MHz

Abmessungen

B: 425 mm H: 185 mm T: 450 mm

Spannungsversorgung

Vakuumkammer

Borosilikatglas rund, Scharniertüre
Ø: 105 mm T: 300 mm Volumen ca. 2.6 L

Gaszufuhr

2 x Nadelventil

Generator

40 kHz | Leistung 0 - 100 W

13,56 MHz | Leistung 0 - 200 W

Elektrode

Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer

Steuerung

Halbautomatische Steuerung

Spannungsversorgung

230 V | 50 - 60 Hz

Druckmessung

Pirani

Pumpe

Saugleistung min. 3 m³/h

PC kHz / PC MHz

Abmessungen

B: 425 mm H: 185 mm T: 450 mm

Spannungsversorgung

Vakuumkammer

Borosilikatglas rund, Scharniertüre
Ø: 105 mm T: 300 mm Volumen ca. 2.6 L

Gaszufuhr

2 x MFC

Generator

40 kHz | Leistung 0 - 100 W

13,56 MHz | Leistung 0 - 200 W

Elektrode

Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer

Steuerung

7" Basic-PC Steuerung (Windows Embedded Compact 7)

Spannungsversorgung

230 V | 50 - 60 Hz

Druckmessung

Pirani

Pumpe

Saugleistung min. 3 m³/h

Halbautomatisch MHz

Abmessungen

B: 425 mm H: 310 mm T: 450 mm

Spannungsversorgung

230 V | 16 A

Vakuumkammer

Aluminium rund, mit Deckel
Ø: 190 mm H: 60 mm Volumen ca. 1 L

Gaszufuhr

2 x Nadelventil

Generator

13,56 MHz | Leistung 0 - 200 W

Elektrode

Elektrode innerhalb der Vakuumkammer - Ø: 160 mm für max. 6"-Wafer

Steuerung

Halbautomatische Steuerung

Spannungsversorgung

230 V | 50 - 60 Hz

Druckmessung

Pirani

Pumpe

Saugleistung min. 3 m³/h

+49 7458 99931-0

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