Zepto (Low Cost / Low Budget)

NIEDERDRUCK-PLASMAANLAGEN (PLASMACLEANER)

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Plasma Anlage - Plasma reinigung, Plasma aktivierung

Technische Daten

Die 2,6 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO mit manueller, PC und PCCE Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 
Kleinserienfertigung, Analytik (REM, TEM), Medizintechnik, Sterilisieren, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Archäologie, Textiltechnik, Kunststofftechnik

Grundausstattung

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 1,7 - 2,6 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V

Gaszufuhr

  • Nadelventile
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 105 mm, L 200 mm oder L 300 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 105 mm, L 200 mm oder L 300 mm)
  • W6 (ca. ∅ 160 mm, L 180mm)

Beladung

  • Warenträger: Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

  • Ein- oder Mehretagen
  • Ein Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer

Steuerungen

  • Manuell
  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)
  • Drehschalter

Druckmessung

  • Pirani

Timer

  • digital 
  • analog 

Generatoren

Frequenzen:

  • 40 kHz: Leistung 0 - 100 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 200 W

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.

Plasmacleaner Zepto Modell 1 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Modell 1 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(100 kHz, 0 - 30 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 200 mm, Volumen: ca. 1,7 Liter)
Gaszufuhr 
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 2 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Modell 2 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 3 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Modell 3 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 4 Grundgerät Typ B inkl. Basic PC-Steuerung (Windows CE)

Modell 4 Grundgerät Typ B inkl. Basic PC-Steuerung (Windows CE)

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 5 Grundgerät Typ C Externe Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 Prof.)

Modell 5 Grundgerät Typ C Externe Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 Prof.)

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr 
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 6 Grundgerät Typ D  Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 IoT)

Modell 6 Grundgerät Typ D Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 IoT)

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 7 Grundgerät Typ A  inkl. manueller Steuerung

Modell 7 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(13,56 MHz, 0 - 30 W, feste Matching)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 200 mm, Volumen: ca. 1,7 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 8 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Modell 8 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching)
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 9 Grundgerät Typ C inkl.  Basic PC Steuerung  (Windows CE)

Modell 9 Grundgerät Typ C inkl. Basic PC Steuerung (Windows CE)

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching)
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr 
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 10 Grundgerät Typ D inkl. Low Cost Pc Steuerung (Windows 10 Prof.)

Modell 10 Grundgerät Typ D inkl. Low Cost Pc Steuerung (Windows 10 Prof.)

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching)
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr 
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 11 Grundgerät Typ E inkl. Low Cost PC Steuerung (Windows 10 IoT)

Modell 11 Grundgerät Typ E inkl. Low Cost PC Steuerung (Windows 10 IoT)

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr 
MFC

Plasmacleaner Zepto RIE Standard Typ A inkl. manueller Steuerung

Zepto RIE Standard Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(40kHz, 0 - 100 W, automatische Matching)
Vakuumkammer RIE
(rund, Aluminium, Ø ca. 190 mm.
Höhe: 60 mm, Volumen: ca. 1 Liter)
Gaszufuhr 
Nadelventil

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