Zepto (Low Cost / Low Budget)
Niederdruck-Plasmaanlage (PlasmaCleaner)
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Die Kleine - mobil, funktional und kostengünstig - passend für Ihr Labor.
Die bis zu 2,6 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO mit halbautomatischer oder Basic PC Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
Kleinserienfertigung, Analytik (REM, TEM), Medizintechnik, Sterilisieren, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Archäologie, Textiltechnik, Kunststofftechnik
Plasmaprozesse
Reinigen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.
Aktivieren von Werkstoffen
Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.
Technische Daten
Zepto One
Halbautomatisch kHz / Halbautomatisch MHz
Abmessungen
B: 269 mm H: 176 mm T: 324 mm
Spannungsversorgung
230 V | 16 A
Vakuumkammer
Borosilikatglas
rund, mit Deckel
Ø: 105 mm
T: 200 mm
Volumen ca. 1.7 L
Gaszufuhr
1 x Nadelventil
Generator
100 kHz | Leistung 0 - 30 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 30 W
Elektrode
Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer
Steuerung
Halbautomatische Steuerung
Spannungsversorgung
230 V | 50 - 60 Hz
Druckmessung
-
Pumpe
Saugleistung min. 3 m³/h
Zepto
Halbautomatisch kHz / Halbautomatisch MHz
Abmessungen
B: 425 mm H: 185 mm T: 450 mm
Spannungsversorgung
230 V | 16 A
Vakuumkammer
Borosilikatglas
rund, Scharniertüre
Ø: 105 mm
T: 300 mm
Volumen ca. 2.6 L
Gaszufuhr
2 x Nadelventil
Generator
40 kHz | Leistung 0 - 100 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 200 W
Elektrode
Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer
Steuerung
Halbautomatische Steuerung
Spannungsversorgung
230 V | 50 - 60 Hz
Druckmessung
Pirani
Pumpe
Saugleistung min. 3 m³/h
Zepto
PC kHz / PC MHz
Abmessungen
B: 425 mm H: 185 mm T: 450 mm
Spannungsversorgung
230 V | 16 A
Vakuumkammer
Borosilikatglas
rund, Scharniertüre
Ø: 105 mm
T: 300 mm
Volumen ca. 2.6 L
Gaszufuhr
2 x MFC
Generator
40 kHz | Leistung 0 - 100 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 200 W
Elektrode
Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer
Steuerung
7" Basic-PC Steuerung (Windows Embedded Compact 7)
Spannungsversorgung
230 V | 50 - 60 Hz
Druckmessung
Pirani
Pumpe
Saugleistung min. 3 m³/h
Zepto RIE
Halbautomatisch MHz
Abmessungen
B: 425 mm H: 310 mm T: 450 mm
Spannungsversorgung
230 V | 16 A
Vakuumkammer
Aluminium
rund, mit Deckel
Ø: 190 mm
H: 60 mm
Volumen ca. 1 L
Gaszufuhr
2 x Nadelventil
Generator
13,56 MHz | Leistung 0 - 200 W
Elektrode
Elektrode innerhalb der Vakuumkammer - Ø: 160 mm für max. 6"-Wafer
Steuerung
Halbautomatische Steuerung
Spannungsversorgung
230 V | 50 - 60 Hz
Druckmessung
Pirani
Pumpe
Saugleistung min. 3 m³/h
