Zepto (Low Cost / Low Budget)

Niederdruck-Plasmaanlagen (Plasmacleaner)

 

Technische Daten

Die 2,6 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO mit manueller, PC und PCCE Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 
Kleinserienfertigung, Analytik (REM, TEM), Medizintechnik, Sterilisieren, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Archäologie, Textiltechnik, Kunststofftechnik

Grundausstattung

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 1,7 - 2,6 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V

Gaszufuhr

  • Nadelventile
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 105 mm, L 200 mm oder L 300 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 105 mm, L 200 mm oder L 300 mm)
  • W6 (ca. ∅ 160 mm, L 180mm)

Beladung

  • Warenträger: Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

  • Ein- oder Mehretagen
  • Ein Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer

Steuerungen

  • Manuell
  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)
  • Drehschalter

Druckmessung

  • Pirani

Timer

  • digital 
  • analog 

Generatoren

Frequenzen:

  • 40 kHz: Leistung 0 - 100 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 200 W

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.

Plasmacleaner Zepto Modell 1 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Modell 1 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(100 kHz, 0 - 30 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 200 mm, Volumen: ca. 1,7 Liter)
Gaszufuhr 
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 2 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Modell 2 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 3 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Modell 3 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 4 Grundgerät Typ B inkl. Basic PC-Steuerung (Windows CE)

Modell 4 Grundgerät Typ B inkl. Basic PC-Steuerung (Windows CE)

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 5 Grundgerät Typ C Externe Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 Prof.)

Modell 5 Grundgerät Typ C Externe Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 Prof.)

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr 
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 6 Grundgerät Typ D  Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 IoT)

Modell 6 Grundgerät Typ D Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 IoT)

Generator
(40 kHz, 0 - 100 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 7 Grundgerät Typ A  inkl. manueller Steuerung

Modell 7 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(13,56 MHz, 0 - 30 W, feste Matching)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 105 mm.
Länge: 200 mm, Volumen: ca. 1,7 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 8 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Modell 8 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching)
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmacleaner Zepto Modell 9 Grundgerät Typ C inkl.  Basic PC Steuerung  (Windows CE)

Modell 9 Grundgerät Typ C inkl. Basic PC Steuerung (Windows CE)

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching)
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr 
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 10 Grundgerät Typ D inkl. Low Cost Pc Steuerung (Windows 10 Prof.)

Modell 10 Grundgerät Typ D inkl. Low Cost Pc Steuerung (Windows 10 Prof.)

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching)
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr 
MFC

Plasmacleaner Zepto Modell 11 Grundgerät Typ E inkl. Low Cost PC Steuerung (Windows 10 IoT)

Modell 11 Grundgerät Typ E inkl. Low Cost PC Steuerung (Windows 10 IoT)

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 105 mm.
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 2,6 Liter)
Gaszufuhr 
MFC

Plasmacleaner Zepto RIE Standard Typ A inkl. manueller Steuerung

Zepto RIE Standard Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(40kHz, 0 - 100 W, automatische Matching)
Vakuumkammer RIE
(rund, Aluminium, Ø ca. 190 mm.
Höhe: 60 mm, Volumen: ca. 1 Liter)
Gaszufuhr 
Nadelventil

Möglichkeiten der Plasmabehandlung

Reinigen von Werkstoffen

Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.

MEHR ÜBER DIE REINIGUNG

Aktivieren von Werkstoffen

Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.

MEHR ÜBER DIE AKTIVIERUNG

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