Parylene ist die Kurzbezeichnung für die Polymergruppe der Poly(para-Xylylene). Die Polymere bestehen aus verschieden substituierten para-Xylylenen. Die Ausgangsbasis zur Beschichtung sind Dimere. Dabei handelt es sich um einen Molekülverbund, der aus zwei identischen Untereinheiten, den sogenannten Monomeren, besteht.
Parylene-Beschichtungen bieten eine große Bandbreite an Vorteilen. Parylene …
- sind vollkommen konform: d.h. sie passen sich auch komplexen Substrat-Konturen an wie z.B. scharfen Kanten, Bohrungen oder Sacklöchern
- sind porenfrei („pinhole-free“) bereits ab Schichtdicken von ca. 0,5 µm.
- sind chemisch unlöslich und beständig gegen eine Vielzahl von Chemikalien.
- weisen sehr gute Barriereeigenschaften gegenüber Feuchtigkeit und Chemikalien auf.
- besitzen eine hohe elektrische Durchschlagsfestigkeit.
- besitzen Trockenschmiereigenschaften (niedriger Reibungskoeffizient).
- sind hydrophob: Kontaktwinkel von H2O zwischen 92 ° und 98 °.
- sind transparent zwischen 90 und 96 % im sichtbaren Wellenlängenbereich (typenabhängig).
- sind biokompatibel: es lassen sich Parylene der Typen C und N abscheiden, die zertifiziert werden können nach USP Class VI, ISO 10993 und FDA.
Technische Daten
Beschichtungswerkstoff
- Parylene N, C, D, F-VT4
Mögliche Schichtdicke
- 0,05 bis zu 100 Mikrometer
Abmessungen
- Breite ca. 2600 mm
- Tiefe ca. 1000 mm
- Höhe ca. 2000 mm
Pyrolyse
- 4 kW / max 850 °C
Kammer
- Durchmesser: 640 mm
- Höhe:8 00 mm
Karussell
- Durchmesser: 560 mm
- Höhe: 650 mm
Kühlfalle
- Flüssigstickstoff
Pumpensystem
- Zweistufige Drehschieberpumpe
Leistung
- 1800 m3/h
Enddruck
- 1 x 10-3 mbar
Steuerung
- PC-basierte Steuerung mit Windows-Betriebssystem
Druckluft
- 6 bar ölfrei und trocken
Anschlüsse
- 3-Phasen/400 V/32 A/50-60 Hz
Abluft
- 42 mm Schlauch
Weitere Optionen
Heizmantel zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene D
Wärmetauscher zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene N und F
LF Generator für die Vorbehandlung
Silan-Verdampfungssystem
Schichtdickenmessgerät
