Parylene P260

Parylene-Beschichtungsanlage

Parylene ist die Kurzbezeichnung für die Polymergruppe der Poly(para-Xylylene). Die Polymere bestehen aus verschieden substituierten para-Xylylenen. Die Ausgangsbasis zur Beschichtung sind Dimere. Dabei handelt es sich um einen Molekülverbund, der aus zwei identischen Untereinheiten, den sogenannten Monomeren, besteht.

Parylene-Beschichtungen bieten eine große Bandbreite an Vorteilen. Parylene …

  • sind vollkommen konform: d.h. sie passen sich auch komplexen Substrat-Konturen an wie z.B. scharfen Kanten, Bohrungen oder Sacklöchern
  • sind porenfrei  („pinhole-free“) bereits ab Schichtdicken von ca. 0,5 µm.
  • sind chemisch unlöslich und beständig gegen eine Vielzahl von Chemikalien.
  • weisen sehr gute Barriereeigenschaften gegenüber Feuchtigkeit und Chemikalien auf.
  • besitzen eine hohe elektrische Durchschlagsfestigkeit.
  • besitzen Trockenschmiereigenschaften (niedriger Reibungskoeffizient).
  • sind hydrophobKontaktwinkel von H2O zwischen 92 ° und 98 °.
  • sind transparent zwischen 90 und 96 % im sichtbaren Wellenlängenbereich (typenabhängig).
  • sind biokompatibel: es lassen sich Parylene der Typen C und N abscheiden, die zertifiziert werden können nach USP Class VI, ISO 10993 und FDA.

Technische Daten

Beschichtungswerkstoff

  • Parylene N, C, D, F-VT4, F-AF4

Mögliche Schichtdicke

  • 0,05 bis zu 100 Mikrometer

Abmessungen

  • Breite ca. 2600 mm
  • Tiefe ca. 1000 mm
  • Höhe ca. 2000 mm

Pyrolyse

  • 4 kW / max 850 °C

Kammer

  • Durchmesser: 640 mm
  • Höhe:8 00 mm

Karussell

  • Durchmesser: 560 mm
  • Höhe: 650 mm

Kühlfalle

  • Flüssigstickstoff

Pumpensystem

  • Zweistufige Drehschieberpumpe

Leistung

  • 1800 m3/h

Enddruck

  • 1 x 10-3 mbar

Steuerung

  • PC-basierte Steuerung mit Windows-Betriebssystem

Druckluft

  • 6 bar ölfrei und trocken 

Anschlüsse

  • 3-Phasen/400 V/32 A/50-60 Hz

Abluft

  • 42 mm Schlauch 

Weitere Optionen

Heizmantel zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene D
Wärmetauscher zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene N und F
LF Generator für die Vorbehandlung
Silan-Verdampfungssystem 
Schichtdickenmessgerät

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