Ashing

Signifie « calcination ». Enlèvement des couches d'hydrocarbures par gravure au plasma. Les polymères sont décomposés en fragments qui sont eux-mêmes gazeux ou qui réagissent avec des espèces actives du plasma pour former des molécules gazeuses, aspirées par la pompe à vide . L' ashing de photoréserve dans la technologie des semi-conducteurs a la signification industrielle la plus importante.

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