Atto (Low Cost / Low Budget)

Niederdruck-Plasmaanlagen (Plasmacleaner)

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Unsere Große unter den Kleinen

Die 10,5 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO mit manueller oder Basic PC Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:

Kleinserienfertigung, Analytik (REM, TEM), Medizintechnik, Sterilisieren, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Archäologie, Textiltechnik, Kunststofftechnik

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Technische Daten

Halbautomatisch kHz / Halbautomatisch MHz

Abmessungen

B: 525 mm H: 257 mm T: 420 mm

Vakuumkammer

Borosilikatglas rund, Scharniertüre
Ø: 211 mm T: 300 mm Volumen ca. 10.5 L

Gaszufuhr

2 x Nadelventil

Generator

40 kHz | Leistung 0 - 200 W

13,56 MHz | Leistung 0 - 300 W

Elektrode

Die Elektrode befindet sich außerhalb der Vakuumkammer

Steuerung

Halbautomatische Steuerung

Spannungsversorgung

230 V | 50 - 60 Hz

Druckmessung

Pirani

Pumpe

Saugleistung min. 6 m³/h

PC kHz / PC MHz

Abmessungen

B: 525 mm H: 257 mm T: 420 mm

Vakuumkammer

Borosilikatglas rund, Scharniertüre
Ø: 211 mm T: 300 mm Volumen ca. 10.5 L

Gaszufuhr

2 x MFC

Generator

40 kHz | Leistung 0 - 200 W

13,56 MHz | Leistung 0 - 300 W

Elektrode

Die Elektrode befindet sich außerhalb der Vakuumkammer

Steuerung

7" Basic-PC Steuerung (Windows Embedded Compact 7)

Spannungsversorgung

230 V | 50 - 60 Hz

Druckmessung

Pirani

Pumpe

Saugleistung min. 6 m³/h

+49 7458 99931-0

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