Atto (Low Cost / Low Budget)
Niederdruck-Plasmaanlagen (Plasmacleaner)
Jetzt Anfragen Datenblatt (PDF)Unsere Große unter den Kleinen
Die 10,5 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO mit manueller oder Basic PC Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
Kleinserienfertigung, Analytik (REM, TEM), Medizintechnik, Sterilisieren, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Archäologie, Textiltechnik, Kunststofftechnik
Technische Daten
Atto
Halbautomatisch kHz / Halbautomatisch MHz
Abmessungen
B: 525 mm H: 257 mm T: 420 mm
Vakuumkammer
Borosilikatglas
rund, Scharniertüre
Ø: 211 mm
T: 300 mm
Volumen ca. 10.5 L
Gaszufuhr
2 x Nadelventil
Generator
40 kHz | Leistung 0 - 200 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 300 W
Elektrode
Die Elektrode befindet sich außerhalb der Vakuumkammer
Steuerung
Halbautomatische Steuerung
Spannungsversorgung
230 V | 50 - 60 Hz
Druckmessung
Pirani
Pumpe
Saugleistung min. 6 m³/h
Atto
PC kHz / PC MHz
Abmessungen
B: 525 mm H: 257 mm T: 420 mm
Vakuumkammer
Borosilikatglas
rund, Scharniertüre
Ø: 211 mm
T: 300 mm
Volumen ca. 10.5 L
Gaszufuhr
2 x MFC
Generator
40 kHz | Leistung 0 - 200 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 300 W
Elektrode
Die Elektrode befindet sich außerhalb der Vakuumkammer
Steuerung
7" Basic-PC Steuerung (Windows Embedded Compact 7)
Spannungsversorgung
230 V | 50 - 60 Hz
Druckmessung
Pirani
Pumpe
Saugleistung min. 6 m³/h