Atto (Low Cost / Low Budget)

Niederdruck-Plasmaanlagen (Plasmacleaner)

Technische Daten

Die 10,5 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO mit manueller, PC und PCCE Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:

Kleinserienfertigung, Analytik (REM, TEM), Medizintechnik, Sterilisieren, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Archäologie, Textiltechnik, Kunststofftechnik

KONTAKT

Gehäuse

B 425 mm, H 275 mm, T 450 mm
B 525 mm, H 257 mm, T 450 mm

Vakuumkammern

aus Glas (Borosilikat oder Quartzglas)
∅ 211 mm, L 300 mm

Beladung

Warenträger: Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Kammmervolumen

ca. 10,5 Liter

Gaszuführung

2 Gaskanäle über Nadelventil
MFC

Generator

40 kHz/200 W
13,56 MHz/300W

Vakuumpumpe

Saugleistung: min. 3 m³/h

Teile-Aufnahme

1 St. Warenträger

Steuerungen

Manuell
PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Drehschalter

Modell 1 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(40 kHz, 0 - 200 W)'
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 211 mm,
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 10,5 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Modell 2 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Generator
(40 kHz, 0 - 200 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 211 mm,
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 10,5 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Modell 3 Grundgerät Typ B inkl. Basic Pc-Steuerung (Windows CE)

Generator
(40 kHz, 0 - 200 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 211 mm,
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 10,5 Liter)
Gaszufuhr
MFC

Modell 4 Grundgerät Typ C inkl. Externe Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 Prof.)

Generator
(40 kHz, 0 - 200 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 211 mm,
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 10,5 Liter)
Gaszufuhr
MFC

Modell 5 Grundgerät Typ D inkl. Low Cost PC-Steuerung (Windows 10 IoT)

Generator
(40 kHz, 0 - 200 W)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Deckel, Ø ca. 211 mm,
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 10,5 Liter)
Gaszufuhr
MFC

Modell 6 Grundgerät Typ A inkl. manueller Steuerung

Generator
(13,56 MHz, 0 - 300 W, automatische Matching)
Vakuumkammer
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 211 mm,
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 10,5 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Modell 7 Grundgerät Typ B inkl. Drehschaltersteuerung

Generator
(13,56 MHz, 0 -300 W, automatische Matching)
Vakuumkammer mit Scharniertür statt Deckel
(rund, Borosilikatglas, Ø ca. 211 mm,
Länge: 300 mm, Volumen: ca. 10,5 Liter)
Gaszufuhr
Nadelventil

Plasmaprozesse

Reinigen von Werkstoffen

Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.

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