Die Produktionsanlage Tetra 2800-LF-PC mit ihren 2.800 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
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Technische Daten
Schaltschrank
- integriert: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm
Vakuumkammern
- ∅ 1200 mm, T 2500 mm
Kammervolumen
- ca. 2800 Liter
Gaszufuhr
- 3 Gaskanäle über MFCs
Generator
- alle gänigen Plasmafrequenzen verfügbar
Steuerung
- PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus