Parylene P6

Parylene-Beschichtungsanlage

Parylene ist die Kurzbezeichnung für die Polymergruppe der Poly(para-Xylylene). Die Polymere bestehen aus verschieden substituierten para-Xylylenen. Die Ausgangsbasis zur Beschichtung sind Dimere. Dabei handelt es sich um einen Molekülverbund, der aus zwei identischen Untereinheiten, den sogenannten Monomeren, besteht.

Eigenschaften und Vorteile:

Parylene-Beschichtungen bieten eine große Bandbreite an Vorteilen. Parylene …

  • sind vollkommen konform: d.h. sie passen sich auch komplexen Substrat-Konturen an wie z.B. scharfen Kanten, Bohrungen oder Sacklöchern
  • sind porenfrei  („pinhole-free“) bereits ab Schichtdicken von ca. 0,5 µm.
  • sind chemisch unlöslich und beständig gegen eine Vielzahl von Chemikalien.
  • weisen sehr gute Barriereeigenschaften gegenüber Feuchtigkeit und Chemikalien auf.
  • besitzen eine hohe elektrische Durchschlagsfestigkeit.
  • besitzen Trockenschmiereigenschaften (niedriger Reibungskoeffizient).
  • sind hydrophob: Kontaktwinkel von H2O zwischen 92 ° und 98 °.
  • sind transparent zwischen 90 und 96 % im sichtbaren Wellenlängenbereich (typenabhängig).
  • sind biokompatibel: es lassen sich Parylene der Typen C und N abscheiden, die zertifiziert werden können nach USP Class VI, ISO 10993 und FDA.

Technische Daten

Beschichtungswerkstoff

  • Parylene N, C, D, F-VT4

Mögliche Schichtdicke

  • 0,05 bis zu 20 Mikrometer

Abmessungen

  • Breite: ca. 700 mm
  • Tiefe: ca. 500 mm
  • Höhe: ca. 700 mm

Pyrolyse

  • 1,6 kW / max 750 °C

Kammer

  • Durchmesser: 200 mm
  • Höhe: 200 mm

Karussell

  • Durchmesser: 170 mm
  • Höhe: 170 mm

Kühlfalle

  • Flüssigstickstoff

Pumpensystem

  • zweistufige Drehschieberpumpe

Abluft

  • 20mm Schlauch 

Enddruck

  • 1 x 10-3 mbar

Steuerung

  • PC-basierte Steuerung mit Windows-Betriebssystem 

Anschlüsse

  • 230 V/16 A /50-60 Hz (Druckluft: 6 bar ölfrei und trocken)

Saugvermögen

  • 16 m3/h

+49 7458 99931-0

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