Die Nano Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Nano Plasmasystemen: Die Nano Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
Analytik, Archäologie, Automotive, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Halbleitertechnik, Kleinserienfertigung, Kunststofftechnik, Medizintechnik, Mikrosystemtechnik, Sensorik, Sterilisieren, Textiltechnik
Plasmaprozesse
Reinigen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.
Aktivieren von Werkstoffen
Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.
Ätzen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Isotropes Ätzen durch chemisches Ätzen, anisotropes Ätzen durch physikalisches Ätzen.
Beschichten von Werkstoffen
Mit Niederdruckplasmen lassen sich Werkstücke mit diversen Beschichtungen vergüten. Dazu werden gasförmige und flüssige Ausgangsstoffe in die Vakuumkammer zugeführt.
Technische Daten
Grundausstattung
- Die Gehäusegröße variieren je nach Komponenten / Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 18 - 36 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät
Gaszufuhr
- Nadelventile
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammern
- Edelstahl rund mit Deckel (ca. ∅ 267 mm, L 420 mm oder L 600 mm) oder
- Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 240 mm x H 240 mm x T 420 mm oder 600 mm)
- Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm oder L 600 mm)
- Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)
- Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)
Beladung
- Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas
Elektroden
- Ein - oder Mehretagen
- RIE
Steuerungen
- Halbautomatik
- Basic PC-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- Full PC-Steuerung (Microsoft Windows 10 IoT)
Druckmessung
- Pirani
- Kapazitätsmanometer (für Korrosivgas-Version)
Timer
- Digital
Generatoren
Frequenzen:
- 100 kHz: Leistung 500 W
- 80 kHz: Leistung 1000 W
- 13,56 MHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W
- 2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W
Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %
Vakuumpumpen
- In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
Weitere Optionen
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.
