Nano

Niederdruck-Plasmaanlagen (Plasmacleaner)

Die Nano Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Nano Plasmasystemen: Die Nano Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

Analytik, Archäologie, Automotive, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Halbleitertechnik, Kleinserienfertigung, Kunststofftechnik, Medizintechnik, Mikrosystemtechnik, Sensorik, Sterilisieren, Textiltechnik

Möglichkeiten der Plasmabehandlung

Reinigen von Werkstoffen

Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.

MEHR ÜBER DIE REINIGUNG

Aktivieren von Werkstoffen

Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.

MEHR ÜBER DIE AKTIVIERUNG

Ätzen von Werkstoffen

Die Plasmatechnik ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Isotropes Ätzen durch chemisches Ätzen, anisotropes Ätzen durch physikalisches Ätzen.

MEHR ÜBER DAS ÄTZEN

Beschichten von Werkstoffen

Mit Niederdruckplasmen lassen sich Werkstücke mit diversen Beschichtungen vergüten. Dazu werden gasförmige und flüssige Ausgangsstoffe in die Vakuumkammer zugeführt.

MEHR ÜBER DAS BESCHICHTEN

Technische Daten

Grundausstattung

  •     Die Gehäusegröße variieren je nach Komponenten / Optionen
  •     Kammervolumen: je nach Version 18 - 36 Liter
  •     Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät

Gaszufuhr

  • Nadelventile
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

  • Edelstahl rund mit Deckel (ca. ∅ 267 mm, L 420 mm oder L 600 mm) oder
  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 240 mm x H 240 mm x T 420 mm oder 600 mm)
  • Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm oder L 600 mm)
  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)

Beladung

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

  •     Ein - oder Mehretagen
  •     RIE

Steuerungen

  •     Halbautomatik
  •     PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  •     PC-Steuerung (Microsoft Windows 10 IoT)
  •     Drehschalter

Druckmessung

  •     Pirani
  •     Kapazitätsmanometer (für Korrosivgas-Version)

Timer

  • Digital

Generatoren

Frequenzen:    

  • 100 kHz: Leistung 500 W
  • 80 kHz: Leistung 1000 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W
  • 2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 % 

Vakuumpumpen

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.

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