Nano

NIEDERDRUCK-PLASMAANLAGEN (PLASMACLEANER)

ANFRAGE STARTEN   Datenblatt (PDF)
 

Die Nano Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Nano Plasmasystemen: Die Nano Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

Analytik, Archäologie, Automotive, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Halbleitertechnik, Kleinserienfertigung, Kunststofftechnik, Medizintechnik, Mikrosystemtechnik, Sensorik, Sterilisieren, Textiltechnik

Technische Daten

Grundausstattung

  •     Die Gehäusegröße variieren je nach Komponenten / Optionen
  •     Kammervolumen: je nach Version 18 - 36 Liter
  •     Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät

Gaszufuhr

  • Nadelventile
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

  • Edelstahl rund mit Deckel (ca. ∅ 267 mm, L 420 mm oder L 600 mm) oder
  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 240 mm x H 240 mm x T 420 mm oder 600 mm)
  • Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm oder L 600 mm)
  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)

Beladung

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

  •     Ein - oder Mehretagen
  •     RIE

Steuerungen

  •     Halbautomatik
  •     PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  •     PC-Steuerung (Microsoft Windows 10 IoT)
  •     Drehschalter

Druckmessung

  •     Pirani
  •     Kapazitätsmanometer (für Korrosivgas-Version)

Timer

  • Digital

Generatoren

Frequenzen:    

  • 100 kHz: Leistung 500 W
  • 80 kHz: Leistung 1000 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W
  • 2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 % 

Vakuumpumpen

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.

+49 7458 99931-0

Holen Sie sich Ihren Experten ans Telefon

info@plasma.com

Schreiben Sie uns Ihr Anliegen

Angebot anfordern

Sie wissen genau was Sie wollen