Fotolackveraschung

Bei der Leiterplattenbearbeitung durch fotolithographische Verfahren spielt die Plasmatechnik eine wichtige Rolle.

Nach der Anlage der Leiterbahnen muss die Fotolackschicht selektiv mittels Plasmatechnik, entfernt werden. Es ist Stand der Technik, dass dies durch Plasmaätzen erfolgt. Dabei wird der Fotolack in gasförmige Abbauprodukte zersetzt (verascht), die von der Vakuumpumpe abgesaugt werden.

Für eine rationelle Bearbeitung ist eine hohe Behandlungsgeschwindigkeit von hoher Bedeutung. Ein Plasma-Stripper oder Plasma Asher ist eine für diese Anwendung optimierte Plasmaanlage.