Vakuumpumpe

Der gebräuchlichste Pumpentyp in der Vakuumtechnik und auch in der Plasmatechnik ist die mechanische ölgeschmierte Drehschieberpumpe. Mit ihr lassen sich Drücke von Atmosphärendruck bis 10^-3 mbar realisieren. Wenn Ultrahochvakuum erzeugt werden soll, verwendet man meist eine Drehschieberpumpe zur Erzeugung des Vorvakuums.