Zubehör

Für Plasmaanlagen

Unsere Plasmaanlagen werden in den meisten Fällen Kundenspezifisch gefertigt und damit ergeben sich viele weitere Optionen und Möglichkeiten die Anlagen zusätzlich nach Bedarf auszustatten. Die Anlagen können mit folgendem Zubehör ausgestattet werden. 

2/2 Wegeventil zur Flüssigkeitsdosierung

Ventil für die gezielte Dosierung von Monomeren.

Automatische Tür

Eine Tür, die sich bei Prozess-Start automatisch schließt.

Beheizbare Kammer

Die Kammer kann bis ca. 80 °C beheizt werden. Die Temperatur ist regelbar. Sie ist für definierte Prozessbedingungen und höhere Ätzraten.

Bubblerflasche

Die Bubblerflasche gehört zum Polymerisationszubehör und wird zum Anschluss flüssiger Monomere an die Vakuumkammer benötigt. Anstelle der einfachen Monomerflasche wird mit einem Trägergas gearbeitet. Das Trägergas, z.B. Argon wird durch das Monomer gespült.

Butterfly - Ventil

Ein Butterfly-Ventil wird zum Regeln eines Gasstroms eingesetzt, in der Vakuumtechnik vor allem innerhalb der Saugleitung einer Vakuumpumpe. Hierzu wird der Strömungswiderstand in der Leitung durch Verstellen einer Klappe, die die Leitung mehr oder weniger verschließen kann, verändert.

Barcodeleser

Zur Verfolgung der Chargen.

Druckminderer

Der Druckminderer ist zum Anschluss an die Gasflasche - 200 bar. Verschiedene Gase benötigen verschiedene Druckminderer. So gibt es einen für Edelgase H2, O2, CF4, C4F8 und einen für NH3.

Druckmessgeräte

Pirani-Sensor oder Baratron - Anzeige des Drucks in der Vakuumkammer.

Drehtrommel

Warenträgerart zur Bestückung mit Schüttgütern.

Durchlaufanlagen

Zur Integration einer Niederdruckplasmaanlage in eine automatische Bearbeitungslinie.

Ersatzteilesatz Standard oder PFPE

Der Ersatzteilesatz beinhaltet jeweils 1 Spannring, 1 Dichtung, 1 Edelstahl-Wellenschlauch (Vakuumschlauch), 1 Fensterscheibe, 1 Türdichtung, 10 St. Feinsicherungen für die Plasmaanlage, sowie beim Standard-Satz 1 Liter Mineralöl für die Vakuumpumpe und bei dem PFPE-Satz 1 Liter PFPE-Öl für die Vakuumpumpe.

Etikettendrucker

Automatischer Ausdruck von Etiketten nach der Plasmabehandlung.

Eitkettenleser

Zur Verfolgung von Chargen.

ESD-Schutz

ESD ist die englische Abkürzung für electrostatic discharge. Eine sogenannte elektrostatische Entladung. Viele elektronische Bauelemente müssen in der Fertigung vor diesen Entladungen geschützt werden. Soll eine Plasmaanlage für die Fertigung solcher Bauelemente verwendet werden kann sie speziell ausgestattet werden, um das Entstehen elektrischer Entladungen zu vermeiden.

Faraday Box / Käfig

Für elektrisch empfindliche Bauteile. Die zu behandelnden Bauteile liegen in der Faraday Box. Diese kann aus der Vakuumkammer heraus genommen werden.

Gasflaschenhalter

Am Arbeitstisch, an Regalen oder Wandleisten zu befestigen. Die Spannweite beträgt 70 mm. Der Spanngurt sichert ohne Spielraum. Er ist für alle Flaschengrößen geeignet.

Lackspray / Glasplatten-Set (LABS-frei Test)

Zubehör zur Durchführung des Lack-Benetzungs-Störungs-Tests.

  • Aceton 250 ml, in Aluminiumflasche mit Schraubverschluss
  • Aceton-Sicherheitsspritzflasche 250 ml
  • Color-Spray reinweiß 150 ml
  • 20 Mineralglasplatten 90 x 110 mm in Luftbläschenfolie eingepackt
  • Gesamter Inhalt in einem 300 x 200 x 120 mm Behälter mit Scharnierdeckel; Schaumstoffplatten zur Polsterung im Behälter

Gasdetektor für Wasserstoff

Für einige Plasmaprozesse wird Wasserstoff als Prozessgas benötigt. Sollte es durch einen technischen Defekt zum ungewollten Austreten von Wasserstoff kommen wird es schnell gefährlich. Der ausströmende Wasserstoff kann sich entzünden und im schlimmsten Fall eine Explosion auslösen. Um dieser Gefahr vorzubeugen, können Plasmaanlagen mit Full-PC-Steuerung mit einem Gasdetektor ausgestattet werden. Dieser erkennt eine erhöhte Konzentration von Wasserstoff in der Umgebung und schlägt  Alarm. 

Gummimatte

Um die Oberseite der Plasmaanlage als Ablage nutzen zu können, kann eine Gummimatte mitbestellt werden. Sie schützt die Plasmaanlage vor Beschädigungen. Außerdem dient sie als „Antirutschmatte“  für die Teile die auf die Anlage gelegt werden sollen.

Heizplatten

Die zu behandelnden Teile liegen auf der Heizplatte, diese kann bis max. 150 °C beheizt werden und ist für definierte Prozessbedingungen und höhere Ätzraten geeignet. Es gibt zwei Optionen:

Ausgestattet mit Temperaturanzeigegerät wird innerhalb der Vakuumkammer ein Thermofühler angebracht, damit die Bauteiloberflächentemperatur gemessen werden kann. Ausgestattet mit der Temperaturanzeige integriert in die PC-Steuerung wird auch innerhalb der Vakuumkammer ein Thermofühler angebracht und so die Bauteiloberflächentemperatur gemessen. Die Temperatur wird hier am Bildschirm angezeigt.

Quarzglasboot

In zwei Abmessungen verfügbar. Für Ultra hochreine Plasmaprozesse oder Waferbehandlung.

Langsame Belüftung der Vakuumkammer

Die Vakuumkammer wird mittels eines Filters langsam belüftet. Es wird das Herumwirbeln von kleinen Bauteilen in der Kammer verhindert.

Leistungsanzeige

Anzeige der Leistung des Generators. Analoganzeige-Instrument.

Mehretagen - Elektrode

Die Mehretagen-Elektrode ist für runde und/oder rechteckige Vakuumkammern lieferbar. Es können mehrere Teile auf einmal behandelt werden. Anwendungsgebiet sind Standard-Plasmaprozesse. Bitte halten Sie Rücksprache mit Diener electronic bezüglich der genauen Konstruktion Ihrer individuellen Elektrode sowie anderen Materialien für die Herstellung der Warenträger.

Mikrodosierpumpe

Mikrodosierpumpen werden zum Eintrag flüssiger Monomere in die Vakuumkammer verwendet. Mit dieser Technik ist es möglich den Eintrag des Monomers in die Vakuumkammer sehr genau zu regeln.  

Mikrowellenlecktester

Aufgrund der gefährlichen Strahlung kann es nützlich sein, einen Mikrowellenlecktester bei Mikrowellenanlagen anzubringen.

Monomerflasche

Polymerisationszubehör. Zum Anschluss flüssiger Monomere an die Vakuumkammer.

OES - Optisches Emissionsspektrometer

Überwachung des Plasmaprozesses zur Qualitätssicherung. Detektion des Endpunktes des Plasmaprozesses. OES nur in Verbindung mit einer PC-gesteuerten Anlage.

Prozessgas - Flasche

Sauerstoff-Flasche zum Anschließen als Prozessgas in 2, 5 und 10 Liter, Wasserstoff-Flasche in 2 Liter, Argon-Flasche in 5 Liter. Für die Lieferung von Gasen sind spezielle Transportbedingungen zu berücksichtigen. Bei Mietanlagen muss die Flasche gekauft werden.

RIE-Elektrode

Gibt es in rund und rechteckig aus Edelstahl, erzielt höhere Ätzraten. Anwendungsgebiet ist anisotropes und isotropes Ätzen.

RIE-Elektrode mit Gasdusche

Rechteckig aus Edelstahl. Erzielt höhere Ätzraten durch homogenere Gasverteilung.
Anwendungsgebiet ist das anisotrope Ätzen.

Rolle zu Rolle System

z.B. zur Behandlung von Folien / Lead-Frames.

Roboter Automatisierung

Diener electronic bietet seinen Kunden für jeden Prozess die passende Automatisierungslösung. Egal ob reinigen, aktivieren, ätzen oder beschichten. Alle Prozesse lassen sich autonom oder voll integriert automatisieren. Dabei bietet Diener electronic sowohl vollautomatische Niederdruck-Plasmaanlagen, als auch vollautomatische Atmosphärendruck-Plasmaanlagen an. Je nach Anforderung werden automatische Warenträger, Knickarmroboter oder 3-Achsen Roboter eingesetzt.

Für die Umsetzung der Automatisierung können wir auf erfahrene Partner zurückgreifen, die auch komplexe und voll integrierte Automatisierungslösungen umsetzen können. 

Sauerstoffgenerator

Sauerstoff wird aus der Umgebungsluft erzeugt. Typ Kröber O2. Sauerstoffleistung: 3-6 l/min.

Sicherheitsventil

Für den Betrieb mit brennbaren Gasen wie z.B. Wasserstoff, Ethin etc.

Sonderflansche / zusätzliche Flansche

Sonderflansche werden eingesetzt, wenn mehr als die vorbereiteten Anschlüsse benötigt werden.

Sonderelektroden und Warenträger

Bitte halten Sie Rücksprache mit Diener electronic bezüglich der genauen Konstruktion Ihrer individuellen Elektrode sowie anderen Materialien für die Herstellung der Warenträger.

Sondervakuumkammern

Gemäß DIN 12198 wurde an unseren Anlagen (Schauglas) eine UV-Bestrahlungsstärkemessung durchgeführt. Resultat: unbedenklich. Sondervakuumkammern gibt es in den Ausführungen rund mit Deckel, rechteckig und Tür mit Scharnier, sie sind aus Aluminium und unterscheiden sich auch durch den Öffnungsdurchmesser und die Innenabmessung. Sprechen Sie uns an.

Standard-Elektrode rund oder rechteckig

Aus Edelstahl/Aluminium-Blech für Standard-Plasmaprozesse.

TEM-Probenhalter

Spezielle Vorrichtung zum Einführen von außen in die Plasmakammer. Jede Größe ist realisierbar. Bitte teilen Sie uns die Maße/Zeichnungen Ihrer Teile mit.

Temperaturanzeigegerät Digital

Innerhalb der Vakuumkammer wird ein Thermofühler angebracht. Über ein separates Display wird die Temperatur in der Vakuumkammer angezeigt. 

Temperaturanzeigegerät der Kammertemperatur ohne Heizplatte. Es kann damit die Bauteiloberflächentemperatur gemessen werden. Die Temperaturanzeige gibt es auch integriert in die PC-Steuerung. Hier wird die Temperatur am Bildschirm angezeigt.

Temperaturanzeigegerät integriert in der PC Steuerung

Innerhalb der Vakuumkammer wird ein Thermofühler angebracht.

Die Temperatur in der Kammer wird direkt in der Anlagensteuerung angezeigt.

Trockenlaufende Vakuumpumpen für Plasmaprozesse mit korrosiven Gasen

Für Prozesse mit korrosiven Gasen können auch trockenlaufende Pumpen eingesetzt werden. Allerdings müssen diese dann speziell für diese hohe Belastung ausgelegt sein. Sie kommen auch mit  Partikel-, Kondens- oder Korrosionsnebenprodukten zurecht. Der Vorteil der trockenlaufenden Pumpen liegt im optimierten Betriebsmittelverbrauch. Die Pumpen benötigen keine vorbeugenden Wartungen. (Ölwechsel)

Vakuumkammern aus Edelstahl

Vakuumkammern aus Edelstahl sind für Standard-Plasmaprozesse.

Vakuumkammern aus Glas (Borosilikat oder Quarz)

Vakuumkammern aus Borosilikatglas sind für hochreine Plasmaprozesse. Vakuumkammern aus Quarzglas sind für Ultra hochreine Plasmaprozesse.

Vorrichtung zur Behandlung von Pulver

Pulver wird in einer rotierenden Glasflasche behandelt. Zum Befüllen kann die Flasche aus der Anlage genommen werden.

Wäschesack

Für die Vorreinigung von Kleinteilen in der Waschmaschine. Abmessungen: 500 mm x 300 mm. 

Waschtrockner

Für die Erstreinigung von Kleinteilen vor der Plasmabehandlung. Nur bei stark verschmutzten Teilen nötig. Hersteller: Miele: Typ WT 2670 WPM.

Warenträger

Auf den sogenannten Warenträgern befinden sich die Teile in der Plasmaanlage. Diese werden je nach Art der Teile und des Prozesses individuell angefertigt. Oft wird auch die doppelte Anzahl Warenträger für eine Anlage angefertigt. Dadurch können während des Prozesses bereits neue Warenträger mit Teilen bestückt werden.

Zusätzliche Gaskanäle

Nadelventile: Unsere Anlagen können mit beliebig vielen Nadelventilen ausgestattet werden. Standard bei der Plasmaanlage vom Typ Femto sind 1-3 Stück, weitere sind auf Anfrage möglich.

Zusätzliche MFCs

MFCs: Bei den Steuerungen PC und PCCE erforderlich. Unsere Anlagen können mit beliebig vielen Mass-Flow-Controllern (MFCs) ausgestattet werden.

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